基于MEMS微镜的长波近红外光谱仪的设计与实现

发布时间：2017-08-20 06:42

  本文关键词：基于MEMS微镜的长波近红外光谱仪的设计与实现

  更多相关文章： MEMS 微镜 光谱仪 近红外 InGaAs

【摘要】：为适应光谱仪微型化、集成化的发展趋势,详细分析了MEMS微镜应用于微型长波近红外光谱仪的方法和涉及的主要问题,例如分光系统的设计、MEMS微镜的选择、探测器与前置放大电路的设计等。并将50Hz谐振频率、峰峰驱动电压为10V的MEMS微镜、高灵敏度的InGaAs单元探测器,结合立特罗式分光光路,设计和实现了900~2 055nm波段的微型长波近红外光谱仪样机,其中1 000~1 965nm谱段的光谱分辨率介于9.4~16nm之间。采用MEMS扫描微镜技术后,一方面简化了光谱仪中的复杂机械结构,使尺寸可以更小;另一方面实现了单探测器的长波近红外光谱仪,与阵列长波近红外探测器光谱仪相比,成本有所降低。作为应用实例,此样机成功对纯水以及乙醇-水溶液的长波近红外光谱进行了测量,实现了乙醇-水溶液的浓度预测分析,其中本样机测量的纯水长波近红外光谱与文献相符。
【作者单位】： 江西理工大学理学院;南开大学物理科学学院;
【关键词】： MEMS 微镜 光谱仪 近红外 InGaAs
【基金】：人社部2011年高层次留学人才回国资助项目([2011]481) 江西省教育厅科技项目(GJJ11468)资助
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： 引言光谱仪在冶金、化学、生物、遥感等领域都有重要的应用。无论是通用光谱仪还是专用光谱分析仪,它们的分光系统目前大致有如下几种:滤光片系统[1]、光栅分光系统[2,3],傅里叶变换系统[4,5],采用AOTF滤光技术的分光系统[6,7]等。自上世纪90年代开始,微机电系统(MEMS)技术被

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 田高友,褚小立,袁洪福,陆婉珍;近红外光谱仪器主要技术指标与评价方法概述[J];现代科学仪器;2005年04期

2 邓孺孺;何颖清;秦雁;陈启东;陈蕾;;近红外波段(900—2500nm)水吸收系数测量[J];遥感学报;2012年01期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 苏雷龙;蒋书波;程明霄;何野;徐波;李晟;;气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计[J];传感器与微系统;2011年10期

2 褚小立;王艳斌;陆婉珍;;近红外光谱仪国内外现状与展望[J];分析仪器;2007年04期

3 褚小立;陆婉珍;;近红外光谱仪新进展[J];分析仪器;2008年01期

4 苏雷龙;蒋书波;程明霄;何野;徐波;;基于MEMS微镜技术的近红外光谱仪的研究[J];光谱实验室;2011年02期

5 韦玮;黄尚廉;陈伟民;王宁;张洁;朱永;;一种基于MEMS光栅光调制器的近红外光谱探测系统[J];光谱学与光谱分析;2010年03期

6 郑宝华;程德福;郑志忠;修连存;;宽谱段光纤光谱仪[J];光谱学与光谱分析;2010年05期

7 张智海;莫祥霞;郭媛君;王伟;;微型MOEMS阿达玛变换近红外光谱仪[J];光谱学与光谱分析;2011年07期

8 施Z赯，

本文编号：705148