傅里叶变换红外光谱仪中动镜系统的设计

发布时间：2017-08-21 18:29

  本文关键词：傅里叶变换红外光谱仪中动镜系统的设计

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【摘要】：为提升傅里叶变换红外光谱仪的整体性能,基于立体角镜与平面镜组合的光学结构,设计了一种柔性支撑机构的摆动型动镜机构.建立和分析该机构控制模型,设计了相适应的反馈控制算法.结果表明:该结构具有无摩擦、抗震性好等优点;光学结构能够很好地补偿动镜摆动造成的倾斜与横移误差,保证仪器的重复性与稳定性;通过对控制算法参量的调整,动镜机构的扫描准确度优于98.4%.在4cm-1的光谱分辨率条件下,使用该动镜机构所测得的红外光谱信噪比优于80000:1,能够满足高准确度定量分析的要求.
【作者单位】： 北京雪迪龙科技股份有限公司;北京航天控制仪器研究所;
【关键词】： 傅里叶变换红外光谱仪 动镜 柔性机构 PID
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项(No.2013YQ060615)资助
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： 0引言傅里叶变换红外光谱仪(Fourier TransformInfrared Spectrometer,FTS)被广泛地应用在生物医药、石油化工、大气监测等行业,能够快速准确地对物质的成分与含量进行分析[1].在傅里叶变换红外光谱仪中,动镜是唯一不断运动的部件,其运动的准确度直接决定仪器的性能:1)动镜的

【参考文献】

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本文编号：714446