大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究

发布时间：2017-08-21 21:04

  本文关键词：大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究

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【摘要】：为了解决非圆形大口径光学平面镜加工过程中的高精度检测问题,针对五棱镜扫描技术,使用一种基于多项式内积以及cholesky分解的非递归方法进行数据处理,同时编写了检测拟合程序,并结合工程实例,对30m望远镜(TMT),thirty meter telescope)项目的三镜(2.5m×3.5m椭圆形平面镜)进行了模拟检测的Monte-Carlo分析。分析结果表明,五棱镜扫描系统对TMT三镜低阶像差的检测精度可以达到30.6nm 5 rms,对power项、astigmatism项的检测精度分别达到9.6nm rms及13.7nmrms,能够完成大口径非圆形光学平面镜低像差的高精度检测。
【作者单位】： 中国科学院大学;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;
【关键词】： 光学检测 五棱镜扫描系统 非递归运算 大口径非圆形平面镜 Monte-Carlo分析
【基金】：国家自然科学基金(61210015)资助项目
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言随着大口径望远技术的发展,望远镜光学系统的口径逐渐增大,以规划中的30m望远镜(TMT,thirty meter telescope)为例,其主镜口径达到30m,三镜为2.5m×3.5m的椭圆形平面镜。大口径的平面镜作为望远镜系统的折返镜,其加工和检测是面临的巨大难题。Fizeau干涉检测[1]与Ritchey，

本文编号：715095