基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究

发布时间：2017-08-23 00:39

  本文关键词：基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究

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【摘要】：在大口径光学镜面的检测中,随着参考镜尺寸的增加,加工精度的制约,重力变形,温度,环境等因素的影响使得参考镜在检测中已经不能作为理想平面镜。文中基于最大似然估计(ML)算法,Zernike多项式拟合对利用非理想平面镜作为参考镜的子孔径拼接检测建立了一套合理的拼接算法和数学模型。并结合工程实例,完成了对2.5 m×3.5 m椭圆形平面镜的模拟拼接实验,拼接前后全孔径面形误差分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分别为0.022λ与0.001 3λ。全口径相位分布的PV值与RMS值的相对误差分别为2.81%与0.81%。实验结果表明:利用ML拼接算法可以高精度地完成对参考镜为非理想平面的大口径平面镜的拼接检测。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 光学检测 干涉测量 子孔径拼接 最大似然估计 Zernike多项式拟合
【基金】：国家自然科学基金(61036015) 国家高技术研究发展计划(O8663NJ090)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言在军事、民用等领域,大口径光学系统发挥着越来越重要的作用。在传统的检测方法中,检测大口径平面镜通常需要与其口径大小相当的标准平面参考镜[1],但是这些标准镜面的加工过程随着其口径的增大变得十分复杂,工艺要求也十分严格,涉及到镜坯材料、镜面支撑、镜面加工设备

【参考文献】

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5 郑婉U，

本文编号：722021