一种新型压阻式微加速度计的研究与设计

发布时间：2017-08-23 15:42

  本文关键词：一种新型压阻式微加速度计的研究与设计

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【摘要】：对于广泛采用的压阻式微加速度计,在传统工艺下,提高量程和固有频率意味着增加梁厚,减小应力,而提高灵敏度又要求减小梁厚,这是相互矛盾的。设计了一种4边4梁结构的高过载压阻式微加速度计,在传统梁-岛结构微加速度计的基础上进行了改进,采用主梁和微梁相结合的设计思想,在提高固有频率、量程的同时提高了灵敏度。在梁的末端采用了新式的延伸梁结构设计,有效地消除了集中应力的现象,提高了结构的抗过载能力。对其进行了阻尼分析和压阻元件的设计,并给出了可行的版图设计方案。仿真结果表明,该微加速度计的各项指标均满足设计要求,具有明显的优越性。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术国家重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学计算机与控制工程学院;
【关键词】： 压阻式微加速度计 延伸梁 阻尼 压阻元件 版图设计
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言高过载微加速度计的工作环境一般较恶劣,这对传感器的量程、频响和可靠性提出了很高的要求。采用传统工艺的微加速度计技术基本上已达到极限[1],很难对其性能进行改善来满足高冲击测试的要求。而采用微机械加工工艺的高过载微加速度计,具有体积小,量程高,频响高,精度高,

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1 李晓博;赵玉龙;程荣俊;;基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器[J];仪表技术与传感器;2014年02期

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5 胡红革,文贵印,余从唏,胡军,赵锡均;电容式微加速度计的噪声特性[J];传感器技术;2001年11期

6 王立森,胡宇群,李志宏,余同希,赵亚溥;微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析[J];机械强度;2001年04期

7 何洪涛,徐永青,杨拥军,吕苗,郑锋,吝海峰;梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)[J];微纳电子技术;2002年11期

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10 张精华,田雷,迟晓珠,王伟,侯占民,吴亚林;压阻式硅微加速度计的研制[J];传感器技术;2003年12期

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1 杨慧;郭航;;压电式微加速度计的研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年

2 邢朝洋;王巍;徐宇新;邱飞燕;徐杰;;宇航用硅微加速度计工程化研究[A];2010年惯性技术 发展动态 发展方向研讨会文集[C];2010年

3 何晓平;张德;文贵印;;“叉指”结构微加速度计的系统设计[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年

4 何胜;赵采凡;王巍;朱红生;;“三明治式”硅微加速度计工程化研究[A];中国惯性技术学会第五届学术年会论文集[C];2003年

5 李圣怡;刘宗林;吴学忠;;微加速度计的发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）[C];2004年

6 胡莉;李茜;;微加速度计[A];中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2004年

7 鲍海飞;陆德仁;;高量程微加速度计的冲击标定[A];第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集[C];2004年

8 黄书琴;郝永平;王世军;;电容微加速度计结构参数优化设计[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年

9 何晓平;;抗7400g冲击的静电伺服微加速度计[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年

10 何晓平;;“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年

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1 刘晓e，

本文编号：725891