高加速度宏微运动平台研究

发布时间：2017-08-24 10:36

  本文关键词：高加速度宏微运动平台研究

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【摘要】：对高加速度宏微运动平台进行了研究,在分析宏微复合驱动技术的基础上,采用一种新型的宏微驱动方式,研制了基于压电陶瓷的高加速度宏微运动平台。宏运动由音圈电机驱动,可实现高加速度、大行程运动;微运动由安装在音圈电机轴上的压电陶瓷驱动,用以补偿宏动所产生的定位误差,达到高精度的设计目标。在微动过程中,由绝对式直线光栅尺实现闭环位置反馈。根据设计要求,搭建了宏微驱动高加速度高精度定位平台,通过实验验证其性能。实验结果表明,该宏微运动平台加速度大于10g,重复定位精度小于1μm。
【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;
【关键词】： 运动平台 高加速度 高精度 宏微驱动
【基金】：国家自然科学基金(U1134004) 广东省高等学校科技创新项目(2012CXZD0020) 广东省战略性新兴产业专项资金(2012A080303004)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 1引言随着以集成电路为主体的微电子制造业的发展,装备对运动系统的行程、加速度、定位精度等提出了极高的要求。未来封装设备的技术水平:定位精度1μm,运动加速度为(12~15)g[1]。这些指标超出了传统封装设备的极限工作范围,对新一代的封装设备的研究势在必行。精密运动平台

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1 李运堂;许昌;李孝禄;;面向芯片封装高加速度高精度气浮定位平台的有限元分析[J];机械设计与制造;2008年09期

2 苗海;;激光测速系统[J];激光与红外;1972年01期

3 蔡田;张鸣;朱煜;胡金春;;超精密气浮工件台误差建模[J];清华大学学报(自然科学版);2011年06期

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1 张胜泉;面向IC封装的高速精密定位系统设计与研究[D];天津大学;2007年

2 郭翠娟;超高加速度精密运动平台研制[D];哈尔滨工业大学;2011年

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本文编号：730842