基于等效变预载法的静电加速度计闭环零点调节

发布时间：2017-08-26 20:27

  本文关键词：基于等效变预载法的静电加速度计闭环零点调节

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【摘要】：闭环零点位置对差动电容式静电加速度计性能具有重要影响,闭环零点偏离机械零点会增大标度因子非线性。为精确调节闭环零点,提出了一种等效变预载闭环零点调节方法,能够在预载和反馈电压不对称情况下实现闭环零点位置的精确辨识和调节。利用静电加速度计原理样机测试了闭环零点调节前后的系统非线性特性,实验结果表明采用上述方法进行闭环零点调节后,表征标度因子非线性的二次项系数由-1.7×10-7降低为-3.3×10-8,验证了上述方法的有效性。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系高精度惯性仪表及系统技术教育部重点实验室;
【关键词】： 非线性 变预载 闭环零点位置 静电加速度计
【基金】：国家自然科学基金(91436107)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 空间应用的高精度的静电加速度计依靠可控的静电力将敏感质量悬浮起来,具有分辨率高、量程小、频带窄等特点,适合测量缓变的微弱加速度,其分辨率可达10-7~10-14 g/Hz1/2(0.1 m Hz~0.1 Hz),可应用在卫星精密定轨、重力场测量及等效原理验证等空间应用领域[1-3]。静电加速度计具

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 刘爽;刘云峰;董景新;;静电悬浮加速度计反馈引起闭环点漂移机理及抑制方法[J];中国惯性技术学报;2014年05期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 刘爽;刘云峰;董景新;;静电悬浮加速度计轴间耦合误差角的在线测量[J];光学精密工程;2015年02期

2 贺建武;邵明学;Ho Jung Paik;张天平;;基于超导差分加速度测量原理的微推力测量方案[J];真空与低温;2013年04期

3 徐哲;刘云峰;董景新;;基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法[J];中国惯性技术学报;2014年01期

4 刘爽;刘云峰;董景新;;静电悬浮加速度计反馈引起闭环点漂移机理及抑制方法[J];中国惯性技术学报;2014年05期

5 刘爽;刘云峰;董景新;;闭环点位置对静电悬浮加速度计性能影响研究[J];仪器仪表学报;2015年07期

6 徐哲;刘云峰;董景新;;利用测温电路线性补偿MEMS加速度计零偏温漂[J];仪表技术与传感器;2015年08期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 贺建武;一种基于超导技术的微推力测试方案[D];首都师范大学;2013年

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本文编号：742820