二维横向剪切干涉中采样点的选取

发布时间：2017-08-27 21:21

  本文关键词：二维横向剪切干涉中采样点的选取

  更多相关文章： 光学检测 横向剪切干涉 最小二乘法 Zernike拟合 剪切量 大口径抛物面 仿真实验

【摘要】：为了使相移式横向剪切干涉法能够广泛应用于大口径非球面的在线检测,通过计算机仿真研究横向剪切干涉测量的非球面面形,实现其二维波面的重建.分别对仿真中获得的被测非球面在x方向和y方向的两个差分波前中剪切量大小和采样点个数的选取进行分析,利用最小二乘法求取波差值,采用Zernike多项式拟合法进行波前重建,在保证高准确度测量情况下,对一被测抛物面面形进行计算机仿真实验,结果表明:最适合的剪切量是其被测口径的十分之一大小,此时只需要对其选取49个离散数据采样点,采用泽尼克多项式拟合就可得到二维波面的形貌.该结论为相移式横向剪切干涉的二维波前重建提供了理论指导,同时,也为大口径非球面在线测量的实际应用提供了技术支撑.
【作者单位】： 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;
【关键词】： 光学检测 横向剪切干涉 最小二乘法 Zernike拟合 剪切量 大口径抛物面 仿真实验
【基金】：陕西省科技厅(No.2014KW05) 陕西省教育厅(No.13JS039)资助
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言非球面作为特殊的光学元件在天文光学、空间光学以及国防、军工等领域得到了广泛应用.1930年M.P.Rimme和J.C.Wyant研制了两个频率相同的交叉光栅剪切量可调横向剪切干涉仪[1];Yatagai研制了基1-2002130于马赫-曾德尔干涉仪的相移横向剪切干涉仪[2];上海光学精密机械研究

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前8条

1 张伟,刘剑峰,龙夫年,王治乐;基于Zernike多项式进行波面拟合研究[J];光学技术;2005年05期

2 王红军;田爱玲;王吉元;;基于Radon变换的横向剪切干涉图的自动检测技术[J];光学技术;2006年05期

3 王丹;刘克;李艳秋;汪海;;含中心遮拦剪切干涉图的波前重建新方法[J];光学技术;2010年05期

4 曾新,丁剑平,梁佩莹,陈志一;二维剪切干涉波前的最小二乘法重建[J];光学学报;2005年03期

5 彭爱华;叶红卫;李新阳;;基于解耦差分泽尼克待定系数法的二维横向剪切波面重建算法[J];光学学报;2011年08期

6 王孝坤;郑立功;张学军;张忠玉;;子孔径拼接干涉检测离轴非球面研究[J];光子学报;2011年01期

7 陈钦芳;马臻;赵蒙;方虎;王虎;;双胶合透镜法检测大相对孔径凸非球面透镜[J];光子学报;2014年03期

8 王起维;董申;孙涛;韩成顺;Shekhtman V N;;非球面非零位横向剪切干涉检测与波前重建[J];纳米技术与精密工程;2013年03期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 吕保斌;杨利华;马臻;李英才;;光学窗口形变对平行光管像质影响[J];光电技术应用;2009年02期

2 王瑞林;张丽霞;邢廷文;;不同针孔直径下衍射波面的标量和矢量分析[J];光电技术应用;2011年06期

3 王华英;张志会;廖微;郭中甲;刘飞飞;;像面数字全息显微中的相位解包裹算法研究[J];光电子.激光;2012年02期

4 王丹;刘克;李艳秋;汪海;;含中心遮拦剪切干涉图的波前重建新方法[J];光学技术;2010年05期

5 范琦;杨鸿儒;黎高平;袁良;姜昌录;郭羽;;欠采样包裹相位图的恢复方法[J];光学学报;2011年03期

6 李庆国;权贵秦;马卫红;;一种快速检测非球面面形的新方法[J];光学仪器;2008年01期

7 兰明强;林健;王敏;詹明媚;;基于MATLAB的球面干涉仪图像处理系统设计[J];光学仪器;2013年01期

8 朱进容;黄素逸;张金业;陈义万;;激光横向剪切干涉应用于温度场的测量[J];半导体光电;2013年03期

9 田爱玲;吴世霞;刘丙才;张鹏飞;;基于权重的子孔径拼接优化算法研究[J];光子学报;2013年08期

10 杨飞;安其昌;张景旭;李洪文;;二阶矩过程在大口径反射镜面形质量分析中的应用[J];电子测量与仪器学报;2014年01期

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 朱进容;水平圆管自然对流换热的剪切干涉测温数值和实验研究[D];华中科技大学;2011年

2 刘强;利用快速刀具伺服车削光学自由曲面的研究[D];吉林大学;2012年

3 黄大刚;非球面测量技术与数据处理方法研究[D];天津大学;2007年

4 巩盾;温度对遥感器光学系统成像质量的影响[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年

5 陈新东;应用于空间相机的主动变形镜研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2012年

6 权贵秦;光干涉法检测光学非球面面形研究[D];西安电子科技大学;2012年

7 陈钦芳;离轴非球面反射镜检测技术的研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2011年

8 朱咸昌;微透镜阵列焦距及其一致性检测技术研究[D];中国科学院研究生院（光电技术研究所）;2013年

9 倪磊;红外材料低温折射率测量技术研究[D];中国科学院研究生院（光电技术研究所）;2013年

10 庞志海;离轴反射光学系统计算机辅助装调技术研究[D];中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 周智强;光学自由曲面设计数据共享及软件开发[D];吉林大学;2011年

2 李灿;全光二维负反馈系统关键技术研究[D];重庆大学;2011年

3 司丽娜;用于激光发射的水平跟踪架四通设计与分析[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年

4 朱进;光学自由曲面面形描述方法和光线追迹模型的研究[D];南京理工大学;2012年

5 郑显锋;基于相移干涉的大平面测量关键技术研究[D];西安工业大学;2012年

6 王响;反射式准直系统设计与检测[D];长春理工大学;2007年

7 高端贵;高分辨率全视场光学相干层析术研究[D];南京理工大学;2007年

8 于伟莉;激光光斑中心位置计算方法的研究[D];长春理工大学;2008年

9 温敬阳;光机热集成分析方法与技术研究[D];西安电子科技大学;2008年

10 彭杨;转筒扫描法测量连续波激光器近场光强分布的研究[D];国防科学技术大学;2007年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 刘景峰;李艳秋;刘克;;一种新的质量图导引路径积分相位展开算法[J];光电工程;2007年12期

2 闫锋;范镝;张斌智;殷龙海;李锐刚;张学军;;一种SiC非回转对称非球面的加工与检测[J];光电工程;2009年03期

3 鄢静舟,雷凡,周必方,高志强;用Zernike多项式进行波面拟合的几种算法[J];光学精密工程;1999年05期

4 单宝忠,王淑岩,牛憨笨,刘颂豪;Zernike多项式拟合方法及应用[J];光学精密工程;2002年03期

5 王孝坤;王丽辉;张学军;;子孔径拼接干涉法检测非球面[J];光学精密工程;2007年02期

6 张忠玉,余景池;用补偿器测量非球面的研究[J];光学精密工程;1999年01期

7 朱秋东,郝群;激光束偏转法非球面面形测量和计算[J];光学技术;2002年01期

8 王红军;田爱玲;王吉元;;基于Radon变换的横向剪切干涉图的自动检测技术[J];光学技术;2006年05期

9 陶春;潘君骅;胡明勇;;一种凸非球面镜补偿检验的新方法[J];光学技术;2009年01期

10 潘俊鹤;胡明勇;沈世东;陈小莲;刘希财;;有限距离的凸非球面的透镜补偿检验方法[J];光学技术;2010年03期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 朱进容;黄素逸;张金业;陈义万;;激光横向剪切干涉应用于温度场的测量[J];半导体光电;2013年03期

2 吴磊,张淳民,袁艳,赵葆常;萨伐尔偏光镜横向剪切量和光程差的精确计算[J];光学学报;2005年07期

3 蔡波;;一种处理二维横向剪切干涉图的新方法[J];西安工业大学学报;1984年01期

4 苏丽娟;相里斌;袁艳;;高光谱分辨率横向剪切静态干涉光谱仪[J];光子学报;2006年05期

5 郑德锋;王向朝;;一种基于平板横向剪切干涉的角位移测量方法[J];中国激光;2007年08期

6 王起维;孙涛;肖虹;韩成顺;董申;;横向剪切干涉检测非球面波前数值模拟[J];航空精密制造技术;2012年04期

7 苗静;;光学面形检测仪[J];西安工业大学学报;2012年11期

8 苗静;;光学面形检测仪[J];西安工业大学学报;2011年02期

9 苗静;;光学面形检测仪[J];西安工业大学学报;2013年03期

10 ;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 姚q;张权;孙晴;;象差光束横向剪切干涉条纹的计算机模拟[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年

2 吴磊;张淳民;廖京川;;视场补偿型萨瓦偏光镜横向剪切量和光程差的精确计算[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 郭向峰;非球面反射镜横向剪切干涉检测技术仿真与实验研究[D];哈尔滨工业大学;2014年

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本文编号：745932