声光可调滤光器400～1000nm宽带增透膜的制备

发布时间：2017-08-28 17:05

  本文关键词：声光可调滤光器400～1000nm宽带增透膜的制备

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【摘要】：针对声光可调滤光器的使用要求,对常用的几种薄膜材料进行了沉积实验,采用传统的撕离法及纳米划痕法测试了薄膜材料的附着力。选择TiO_2和SiO_2分别作为高、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,制备了附着力牢靠、光谱透射率满足使用要求的TeO2晶体400~1 000nm宽带增透膜。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十六研究所;中国电子科技集团公司第四十四研究所;
【关键词】： 声光可调滤光器 宽带增透膜 附着力 纳米划痕法
【分类号】：TH74;O484
【正文快照】： 0引言声光可调滤光器(AOTF)是基于声光互作用效应设计的一种电调谐滤光器件,在光谱应用中也称为分光器件。AOTF通过调谐电信号的频率而从宽光谱(复色光)中滤出所需光谱成分。与一般色散元件相比,AOTF具有光谱切换速度快,光学系统无移动部件等特点。声光可调滤光器通常采用TeO2

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1 段致平;;4500，

本文编号：748592