大口径动态扫描反射镜背部悬浮支撑结构设计

发布时间：2017-08-28 18:36

  本文关键词：大口径动态扫描反射镜背部悬浮支撑结构设计

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【摘要】：为了消除自重和热应力对大口径平面反射镜面形精度的影响,采用有限元分析方法,对比分析了在-20℃环境温度下采用背部固定约束与背部浮动约束获得的反射镜面形仿真数据,设计了动态扫描反射镜背部悬浮支撑结构以实现浮动约束,搭建了检测平台,并进行了大口径平面反射镜面形检测。结果表明,安装该支撑结构后反射镜的面形峰谷值为0.236λ,平均值为0.049λ。背部悬浮支撑结构实现了浮动约束,释放了大口径平面反射镜因自重和热应力造成的变形,有效保证了面形精度。
【作者单位】： 西南技术物理研究所;
【关键词】： 光学设计 悬浮支撑 仿真分析 大口径平面反射镜
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言激光应用系统及成像光学系统中对反射镜具有较高的面形精度要求[1-3]。反射镜的面形直接影响着成像的质量[4-5]。决定反射面形的因素有反射镜的大小、材料、加工工艺、支撑方式、安装工艺、工作环境、工作方式等[6-9]。本文中研究的平面反射镜尺寸为510mm×330mm×60mm,工

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本文编号：748902