双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

发布时间：2017-08-29 06:02

  本文关键词：双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

  更多相关文章： 装调技术 双光纤相移点衍射干涉仪 光学系统波像差 光学检测

【摘要】：为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度,为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV值为37.82 nm,RMS值为7.83 nm。
【作者单位】： 东北电力大学理学院;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【关键词】： 装调技术 双光纤相移点衍射干涉仪 光学系统波像差 光学检测
【基金】：东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218)
【分类号】：TH744.3;O436.1
【正文快照】： 0引言极紫外光刻(EUVL)技术作为下一代光刻技术的最佳候选技术,它最大程度地继承了目前光学光刻的发展成果。作为光刻机核心单元之一的光刻物镜为了实现光刻分辨率及临界尺寸控制的要求,其RMS波像差应小于1 nm rms,要检测如此高精度的光学系统,就需要更高精度的检测设备,其检

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 曹晓君,张学军,李艳红;光纤点衍射干涉仪调整方法与条纹分析[J];光机电信息;2003年03期

2 卢增雄;金春水;张立超;王丽萍;;极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析[J];光学学报;2010年10期

3 贺俊;王青;陈磊;;移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术[J];红外与激光工程;2008年03期

4 张宇;金春水;马冬梅;王丽萍;;可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析[J];红外与激光工程;2012年05期

5 张宇;金春水;马冬梅;王丽萍;;可见光移相点衍射干涉仪的空气扰动误差分析[J];红外与激光工程;2012年07期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 王瑞林;张丽霞;邢廷文;;不同针孔直径下衍射波面的标量和矢量分析[J];光电技术应用;2011年06期

2 贺俊;陈磊;;使用红外干涉仪测量非球面面形[J];光学精密工程;2010年01期

3 王道档;杨甬英;陈琛;卓永模;;点衍射球面检测中的斜反射波前像差校正[J];光学学报;2011年06期

4 卢增雄;金春水;马冬梅;张海涛;;微小孔偏差对远场波前质量影响分析[J];光学学报;2011年08期

5 许嘉俊;邢廷文;;可见光二维小孔矢量衍射分析[J];光学学报;2011年12期

6 贺俊;陈磊;王青;;使用红外干涉仪测量红外材料折射率[J];光子学报;2010年06期

7 卢增雄;金春水;马冬梅;;照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析[J];光学学报;2012年08期

8 许嘉俊;邢廷文;;可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析[J];光电工程;2013年02期

9 王凤鹏;赵成果;廖志孟;廖志伟;尹真;郭金水;;采用视频图像的激光干涉测长技术[J];红外与激光工程;2011年06期

10 柳华;刘伟奇;冯睿;魏忠伦;张健;;新型全柔性动镜机构的设计与分析[J];红外与激光工程;2012年01期

中国博士学位论文全文数据库 前5条

1 张宇;极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2012年

2 王道档;高精度点衍射球面干涉检测技术及系统研究[D];浙江大学;2012年

3 邵晶;点衍射干涉仪基准波前质量测评研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

4 卢增雄;相移点衍射干涉仪深亚纳米精度参考波前研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2013年

5 许嘉俊;点衍射干涉仪检测技术研究[D];中国科学院研究生院（光电技术研究所）;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前2条

1 陈琛;基于FDTD方法的点衍射理论建模及分析研究[D];浙江大学;2012年

2 褚光;点衍射干涉仪中小孔尺寸对衍射光强分布影响的研究[D];南京理工大学;2012年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 常丽萍;沈卫星;林尊琪;;基于奇异值分解的数字波前拟合算法[J];光学学报;2006年11期

2 马强;刘伟奇;李香波;康玉思;魏忠伦;冯睿;柳华;;点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析[J];光学学报;2008年12期

3 杨晶晶;黄铭;吴中元;宗容;彭金辉;;亚波长银粒子/孔的光谐振特性[J];光学学报;2009年05期

4 曾夏辉;范滇元;周萍;;亚波长锥形波导的电磁场分布及传输特性[J];光学学报;2009年06期

5 惠梅,牛憨笨;运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合[J];光子学报;1999年12期

6 陈磊,高志山,何勇;红外光学透镜焦距测量[J];光子学报;2004年08期

7 何勇,陈磊,王青,朱日宏;移相式泰曼-格林红外干涉仪及应用[J];红外与激光工程;2003年04期

8 贺俊;王青;陈磊;;移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术[J];红外与激光工程;2008年03期

9 陈磊,王青,朱日宏;使用红外干涉仪测量锗材料折射率均匀性[J];中国激光;2005年03期

10 陈进榜,陈磊,王青,高志山,朱日宏;大孔径移相式CO_2激光干涉仪[J];兵工自动化;1998年01期

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 邓诗涛;变折射率介质中的光传输及像质评价[D];浙江大学;2008年

2 左芬;同步移相干涉测量的抗振技术研究[D];南京理工大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 毕精会;相移干涉术中相移误差校正算法及应用研究[D];昆明理工大学;2006年

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 赵瑞萍;熊望娥;;光学系统计算机辅助装调分析与应用[J];现代电子技术;2010年20期

2 杨晓飞,张晓辉,韩昌元;用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统[J];光学学报;2004年01期

3 ;[J];;年期

4 ;[J];;年期

5 ;[J];;年期

6 ;[J];;年期

7 ;[J];;年期

8 ;[J];;年期

9 ;[J];;年期

10 ;[J];;年期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 李斌;干涉法实时检测浅度非球面的方法研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年

，

本文编号：751672