微加速度计多失效模式可靠性分析

发布时间：2017-08-29 19:33

  本文关键词：微加速度计多失效模式可靠性分析

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【摘要】：以梳齿式电容微加速度计为研究对象,开展考虑刚度失效、黏附失效等多个失效模式共同作用下的可靠性分析。首先,建立表征各失效模式的数学模型;并利用结构可靠度方法进行各失效模式的可靠性分析。然后,进行各失效模式的相关性分析,获得相关系数矩阵。最后,以各失效模式可靠性结果和相关系数矩阵为输入,建立微加速度计多失效模式可靠性分析模型;并进行相应的可靠性分析。一方面给出了微加速度计的可靠度,用于判别微加速计是否满足可靠度要求;另一方面给出了微加速度计各失效模式和各随机变量的量化的重要度排序,用于确定具有针对性的可靠性提高措施。
【作者单位】： 东北大学机械工程与自动化学院;中国兵器科学研究院;
【关键词】： 多失效模式 相关性 可靠度 可靠性分析 灵敏度分析
【基金】：国防技术基础项目(Z092014B001)资助
【分类号】：TH824.4;TB114.3
【正文快照】： 目前,微加速度计等MEMS产品在工作过程中常存在一些典型的失效问题,如刚度失效、黏附失效等[1],致使产品无法完成预定的功能。针对这些问题,在MEMS产品的设计过程中,一方面需要充分考虑这些失效模式发生的可能性,即发生概率或可靠度;另一方面需要明确MEMS产品可靠度的主要影响，

本文编号：755090