光学面形的轮带光学抛光方法研究

发布时间：2017-09-01 01:13

  本文关键词：光学面形的轮带光学抛光方法研究

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【摘要】：鉴于光学零件高陡度凹曲面的抛光是光学加工的一个难题,轮带光学确定性抛光方法是解决此类零件抛光的有效方法之一;提出轮带光学抛光技术的原理和方法。研究了轮带光学抛光方法修形的可行性,采用五轴精密数控机床系统对一块直径Ф80mm的K9玻璃平面样镜进行了修形试验,经过3次迭代修形使其面形精度均方根误差(RMS)由初始的0.109λ提高到0.028λ,平均每次收敛率达到1.3。实验结果表明,应用轮带光学抛光技术进行光学镜面修形,面形收敛速度较快,加工精度较高。本实验验证了轮带光学抛光技术的修形能力,为高陡度光学零件的抛光提供了研究基础。
【作者单位】： 国防科技大学机电工程与自动化学院;
【关键词】： 轮带光学抛光技术 光学抛光 面形精度
【基金】：“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项资助项目(2010ZX04001-151) 国家自然科学基金(51075393)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言随着光学零件的表面质量要求不断提高,以及零件的几何形状日趋复杂,超光滑表面的生成成为一个难点。非球面光学零件能够矫正像差、改善像质、扩大视场、增大作用距离,并能够使光学系统简化、质量减轻[1]。非球面零件的性能优势大大超过了传统的光学零件,但是非球面光学零

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本文编号：769034