平面干涉仪检测立方体直角误差的方法

发布时间：2017-09-01 14:18

  本文关键词：平面干涉仪检测立方体直角误差的方法

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【摘要】：介绍一种使用平面干涉仪对立方体直角误差的测量方法。利用激光干涉测量方法具有精度高和灵敏度高的特点,制做一个放置立方体的夹具,使其测试光路在立方体内经反射后又由入射面出射,当与测试平行光重合时形成干涉,实现用平面干涉仪对立方体直角误差的检测。同时,也可对立方体表面平面度、玻璃材质缺陷等指标进行判别。具有与棱镜透镜干涉仪检测立方体直角误差的同等效果。
【作者单位】： 南京理工大学军工试验中心;
【关键词】： 平面干涉仪 测量 立方体 直角误差
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言在锥体棱镜的制造方法中,有一种对立方体进行加工(对立方体直角面的磨抛、切割、滚圆、入射面的磨抛)形成锥体棱镜的制造方法。这种制造方法对于出射光轴与入射光轴的偏离角误差(也称综合角误差)要求为α≤5″的锥体棱镜来说,立方体一组角的三个直角误差则应分别控制在Δ

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本文编号：772573