微缩投影系统的计算机辅助装调

发布时间：2017-09-03 19:22

  本文关键词：微缩投影系统的计算机辅助装调

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【摘要】：为了解决主次镜结构的微缩投影系统在计算机辅助装调过程中的补偿器耦合问题,实现补偿器的合理筛选,介绍了一种基于光学系统敏感矩阵奇异值分解的计算机辅助装调算法。建立了微缩投影系统装调模型,针对算法和模型开展了计算机辅助装调实验。用光学软件CODE V建立了光学系统模型,采用零位补偿器检测获得了非球面元件面形;基于灵敏度矩阵的分析结果指导微缩投影系统优化,并将优化后的结构参数作为系统光机结构机械装配和定位的基准。新建立的系统装调模型更接近实际装调过程,能更有效地指导装调,解决了补偿器间的耦合问题,加快了装调过程的收敛。最后,基于自行研发的高精度干涉仪完成了计算机辅助装调实验。实验显示系统波像差由46.39nmRMS收敛至20.73nmRMS,验证了装调算法和模型的准确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【关键词】： 微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解
【基金】：国家重大科技专项资助项目
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言光学系统出瞳面波像差是衡量光学系统成像质量的关键指标,而光学系统设计残差、光学元件检测和加工误差以及光学系统装调误差是影响系统波像差的3个关键因素。随着光学设计软件功能的完善,光学加工和检测技术的不断发展,使得研制分辨率达到衍射极限的光学系统成为可能,例

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本文编号：786890