宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器

发布时间：2017-09-05 22:01

  本文关键词：宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器

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【摘要】：报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器。该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸,同时采用XeF_2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构,该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷。在器件制备的基础上,对该器件在不同真空度条件下的响应特性进行了测试,测试结果表明该器件在常温下的真空响应上限达10~5 Pa。而不同加热功率条件下,该器件的响应灵敏度随着加热功率的增大呈增大趋势。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;中国科学院微电子研究所智能感知研发中心;江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心;
【关键词】： 热电偶 真空度 双层多晶硅 微电子机械系统(MEMS) 灵敏度
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61401458,61335008,61136006,51205373) 江苏省自然科学基金资助项目(BK20131098) 河南省科技开放合作项目(132106000073)
【分类号】：TH811;TP212
【正文快照】： (MEMS);sensitivity0引言真空度传感器被广泛应用于电子、航空航天、化工、可控热核聚变及表面物理研究等领域[1-2]。基于热电偶原理的真空度传感器是一种应用较为广泛的真空计,因其响应范围宽、灵敏度高及功耗低等特点而受到关注[3-4]。热电偶真空度传感器是一种热导型真空度

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本文编号：800400