基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析

发布时间：2017-09-06 20:03

  本文关键词：基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析

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【摘要】：目前影响高精度干涉仪测量精度的一个重要因素是系统的相干噪声,为了提高干涉检测精度,必须抑制系统的相干噪声。环形光源作为一种抑制相干噪声的有效手段已被广泛应用工程实践。本文利用Zemax干涉仪建模分析了环形光源不同环半径对干涉测量精度影响,并分析了在一定环半径下,随着干涉腔长的增加,对干涉测量结果的影响。仿真分析结果表明,随着环形光源环半径的增加,干涉测量结果的系统误差增大,在同一环半径下,随着干涉腔长的增加,干涉测量的系统误差增大。
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所;
【关键词】： 环形光源 相干噪声 误差分析
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61108045)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言当前,系统的相干噪声是影响高精度干涉仪测量精度的重要因素。相干噪声主要是由于光学元件的缺陷(如灰尘、凹陷、伤痕和气泡等)引起的不期望的反射和衍射形成的干涉条纹如“牛顿环”或“靶心”[1-2]。这种相干噪声会导致干涉图像质量下降,降低系统传递函数,从而影响测量

【参考文献】

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【共引文献】

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【相似文献】

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本文编号：805154