近红外谱域显微干涉仪的位移传感特性研究

发布时间：2017-09-08 01:27

  本文关键词：近红外谱域显微干涉仪的位移传感特性研究

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【摘要】：为研究近红外谱域显微干涉仪在近红外波段的位移传感特性,分析了条纹载频对位移量提取的影响,建立了测量光谱中心波长与干涉仪位移传感范围之间关系公式,讨论了光源可见光分量对近红外光栅光谱仪所记录条纹的串扰现象并提出抑制方法。构建近红外迈克尔逊型谱域显微干涉实验系统,单次测量位移量传感精度优于0.02μm。测量标准台阶板的台阶高度(其标称值为7.732μm),测量偏差为0.044μm。采用近红外谱域显微干涉装置,无需轴向扫描即可实现位移量测量,将光谱仪记录的谱域干涉信号转换为随波数线性变化信号处理能有效提高位移传感精度,增大中心波长能够有效提高位移传感范围,在系统中加入短波截止滤光片则能有效抑制可见光分量对近红外光谱域条纹造成的串扰。
【作者单位】： 南京理工大学电子工程与光电技术学院;南京理工大学协同创新中心;
【关键词】： 测量 干涉测量 位移量传感 近红外 谱域分析
【基金】：国家自然科学基金(U1231111);国家自然科学基金青年基金(61505082) 江苏省自然科学基金(SBK2015041354)
【分类号】：O436.1;TH744.3
【正文快照】： 0引言随着机械制造、光学元件加工、电子工业等领域的发展,对光学元件轮廓、几何尺寸以及表面形貌等测量工作的要求越来越高,各式各样的位移传感技术也应运而生。根据测量探头工作形式,位移传感技术主要分为接触式和非接触式两种。接触式位移传感技术测量过程中,由于测量力的，

本文编号：811071