200单元硅基单压电变形镜的设计与测试

发布时间：2017-09-08 03:51

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【摘要】：针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支)。最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性。仿真与实验结果表明:致动器在50V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力。该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力。
【作者单位】： 宁波大学机械工程与力学学院;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;
【关键词】： 压电变形镜 硅基变形镜 自适应光学 天文望远镜
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.11303019) 中国博士后科学基金资助项目(No.2013M531521) 浙江省自然科学基金资助项目(No.LQ13E050016)
【分类号】：TH751
【正文快照】： 1引言自适应光学系统通过实时控制变形镜的镜面产生与波前畸变相共轭的变形来补偿光束,其克服了传统光学无法动态补偿波前畸变的局限,使系统能够达到衍射极限[1]。自适应光学的发展对天文望远镜的研究产生了革命性的影响,现代大型地基、天基望远镜几乎都配备了自适应光学系统[

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本文编号：811730