正交柱面镜像散位移测量方法的研究

发布时间：2017-09-08 17:06

  本文关键词：正交柱面镜像散位移测量方法的研究

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【摘要】：为了实现物体位移测量的高精度,无损伤和简单化,对柱面镜像散效应进行了研究,利用正交柱面镜像散效应实现物体的位移测量。根据高斯光线追迹的矩阵方法,建立正交柱面镜的矩阵光线传播模型,并利用Zemax进行仿真验证;给出了正交柱面镜像散位移测量系统的矩阵传播模型,并具体分析了系统的量程和分辨率;进行实验验证,在5.6 mm量程范围内,实现了精度为200 nm的移位测量。该方法为位移测量提供了一种新的非接触、高精度的光学测量方式。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;
【关键词】： 测量 正交柱面镜 像散原理 矩阵光学
【基金】：中国科学院三期创新基金(YYYJ-1122) 总装备部预研基金(51201060207)
【分类号】：TH822
【正文快照】： 1引言在工业生产,工程应用与科学研究领域,物体位移的高精度实时测量得到了越来越多的关注。按照测量方式,物体位移测量可以分为两大类:接触式测量与非接触式测量。光学测量是一种十分重要的非接触测量方式,并因其自身的非接触、无损伤、高精度等优点得到了广泛应用[1-5]。光

【参考文献】

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【相似文献】

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本文编号：815236