用于大孔径凸非球面检测的部分补偿透镜的优化设计

发布时间：2017-09-09 03:29

  本文关键词：用于大孔径凸非球面检测的部分补偿透镜的优化设计

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【摘要】：针对部分补偿法和子孔径拼接技术对大孔径凸非球面进行测量时,部分补偿透镜的优化设计是关键技术之一,基于ZEMAX软件对用于大孔径凸非球面的部分补偿透镜进行了优化设计,以波前斜率作为优化目标,通过直接观察弥散圆半径对全口径的光线进行优化。设计结果表明,用结构简单的单片部分补偿透镜即可实现对大孔径凸非球面的面形测量,在不同的子孔径区域,部分补偿系统在理想焦面处的弥散圆最大半径均小于165μm,满足设计要求,验证了结合部分补偿法和子孔径拼接技术测量大孔径凸非球面的可行性。
【作者单位】： 北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室;
【关键词】： 光学设计 部分补偿透镜 大孔径凸非球面 弥散圆
【分类号】：TN202;;O43
【正文快照】： 引言非球面元件因其特有的优点[1-5]正越来越多地被用于航空、航天、军事和民用等领域。在众多应用领域中,凸非球面元件是较为常用的核心部件。但凸非球面面形的测量一直是光学检测中的难点,以往一般采用无像差点法对其进行测量,但这种方法只能检验二次曲面凸面,其优点是设计，

本文编号：818022