基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统

发布时间：2017-09-09 23:10

  本文关键词：基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统

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【摘要】：工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求。测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用。提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统。该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域。
【作者单位】： 中国计量学院机电工程学院;福陆(中国)工程建设有限公司;
【关键词】： 激光外差干涉仪 纳米位移测量 LabVIEW
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51105348) 第45批教育部留学回国启动基金项目 浙江省钱江人才计划项目(2013 R1066)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 随着纳米技术的不断发展,纳米位移测量作为纳米技术的基础部分,在航空航天、科学研究、工业等领域发挥着重要作用。目前,进行纳米位移测量的方法主要分为两类[1]:一类是非光学测量方法,包括以扫描探针显微术(SPM)为代表的显微镜技术和电学测量技术;另一类是光学测量方法。纳米

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本文编号：823307