一种基于PDMS的新型可调光栅

发布时间：2017-09-10 18:39

  本文关键词：一种基于PDMS的新型可调光栅

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【摘要】：传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂且难以控制,制作成本高,周期较长,因此提出一种制作光栅的新方法。通过氧等离子体(PLASMA)方法,制作出微米尺度的光栅结构。利用PLASMA时间的可控性和聚二甲基硅氧烷(PDMS)优异的弹性,通过调控PLASMA的时间和PDMS的拉伸程度,制得所需尺寸的光栅。将制得的光栅薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸,随着栅线的伸长,光栅常数随之减小,即可对光栅周期进行连续、任意调谐,并获得预定的目标周期。实验结果表明,制作的光栅调谐范围可达40%,并且调谐过程中光栅金属保持完整,衍射角变化显著,理论值与实验值基本一致,达到预期实验目的。该制作可调光栅的方法成本低,周期短,工艺过程简单易控制,可广泛应用于微型光谱仪、扫描仪及光通信等领域。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术国家重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【关键词】： 氧等离子体 可调光栅 周期 光栅常数
【基金】：国家自然科学基金资助项目(91123016,51225504,51105345) 国家973计划前期资助项目(2012CB723404)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 杨江涛陈萌康宁郭浩刘俊唐军引言光栅作为一种非常重要的光学元件,被广泛应用于集成光路、光通信、光学互连、光信息处理、光学测量等领域中。与普通光栅相比,可调光栅可以通过改变周期选择不同波长的光或将某一波长的光偏转不同的角度,因此广泛应用于微型光谱仪、扫描仪、光

【参考文献】

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1 李太平;李晓莹;虞益挺;燕斌;孙瑞康;乔大勇;;一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究[J];光子学报;2010年04期

2 崔敏;张斌珍;张勇;;一种新型可调光栅的制作方法[J];传感器与微系统;2013年03期

3 顾艳妮;宣艳;;基于PDMS金属可调谐光栅的制备工艺研究[J];材料导报;2011年16期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 崔敏;张斌珍;张勇;;一种新型可调光栅的制作方法[J];传感器与微系统;2013年03期

2 钟可君;高益庆;李凤;张志敏;;一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法[J];中国激光;2014年03期

3 李以贵;杉山进;;基于同步辐射光刻工艺和电铸工艺的金属纳米光栅模具制备[J];中国激光;2014年11期

4 马宏宇;杨秋翔;;基于PDMS的自组装制备可调谐光栅的研究[J];压电与声光;2015年05期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 李太平;李晓莹;虞益挺;燕斌;孙瑞康;乔大勇;;一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究[J];光子学报;2010年04期

2 王启东，，陈纯坤;激光动态角度测量系统研究[J];光子学报;1995年01期

3 顾艳妮;宣艳;;基于PDMS金属可调谐光栅的制备工艺研究[J];材料导报;2011年16期

4 金锦耀,张之江;视觉坐标测量中特征点成像中心的计算[J];计量技术;2003年06期

5 周红锋;王东云;黄锑儒;杨光弟;;激光三角法测量小角度的测量模型和光路设计研究[J];云南民族大学学报(自然科学版);2008年03期

6 虞益挺;苑伟政;;MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)[J];仪器仪表学报;2008年06期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 李晓蕾;图像法实现导轨直线度测量系统的研究[D];西安理工大学;2007年

【相似文献】

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1 关艳霞;刘斌;徐章润;;PDMS气动微型蠕动泵的有限元分析[J];仪表技术与传感器;2007年04期

2 Ut-Binh T. Giang;Michael R. King;Lisa A. DeLouise;;Microfabrication of Bubbular Cavities in PDMS for Cell Sorting and Microcell Culture Applications[J];Journal of Bionic Engineering;2008年04期

3 安斌;;PDMS在冶金建设的运用[J];硅谷;2008年04期

4 辛永斌;何春兰;;浅谈PDMS在工程中的应用[J];内蒙古水利;2009年01期

5 李继定;;SEPARATION OF PROPANE FROM PROPANE/NITROGEN MIXTURES USING PDMS COMPOSITE MEMBRANES BY VAPOR PERMEATION[J];Chinese Journal of Polymer Science;2009年05期

6 张明志;郝倩;;浅析PDMS三维布置设计在火电项目中的应用[J];中国工程咨询;2009年07期

7 李继定;;PERVAPORATION SEPARATION OF ETHANOL/WATER MIXTURES WITH CHLOROSILANE MODIFIED SILICALITE-1/PDMS HYBRID MEMBRANES[J];Chinese Journal of Polymer Science;2010年04期

8 刘威;纪树兰;秦振平;牛洪金;刘吉达;;PDMS-b-PPO共聚物的合成及优先透醇性能研究[J];北京工业大学学报;2012年05期

9 李艳琼;王升高;程莉莉;汪建华;;低温空气等离子体改性PDMS的研究[J];真空与低温;2008年02期

10 刘鑫;汪静;潘超;曲冰;赵巳茹;王小红;;改性PDMS薄膜的制备及其抗菌性能研究[J];大连海洋大学学报;2013年04期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 姜英琪;王晓红;邱新平;钟凌燕;白玉霞;刘理天;;PDMS封装技术在硅基微型直接甲醇燃料电池中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）[C];2005年

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本文编号：825996