当前位置:主页 > 科技论文 > 仪器仪表论文 >

MEMS三轴加速度计6位置标定方法的研究

发布时间:2017-09-12 16:15

  本文关键词:MEMS三轴加速度计6位置标定方法的研究


  更多相关文章: MEMS加速度计 误差补偿 转台标定 数学模型


【摘要】:针对本课题组十二位置法测试时间长的问题,提出了MEMS三轴加速度计的6位置标定方法。首先建立了三轴加速度计的输入输出误差模型,然后详细介绍了6位置标定的位置编排和过程,给出了数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值的计算方法,最后通过三轴转台实验验证了6位置标定方法的可行性及模型的准确性。结果表明6位置标定方法简单可行,补偿后精度能够提高1~2个数量级,为其工程实用性奠定了理论基础。
【作者单位】: 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【关键词】MEMS加速度计 误差补偿 转台标定 数学模型
【基金】:山西省自然科学基金项目(2014011021-5)
【分类号】:TH824.4
【正文快照】: MEMS加速度计作为测量载体线加速度的惯性器件,在姿态测量、武器制导等军事及民用领域有着广阔的应用前景。其凭借体积小、重量轻、价格低、寿命长和易批量生产等优点,在航空、航天、军事等领域具有绝对的优势[1-3]。三轴加速度计作为惯性导航的核心器件,其性能和输出数据的有

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 熊壮;Mairiaux E;Walter B;Faucher M;Buchaillot L;Legrand B;;两种基于MEMS谐振器的原子力显微镜探针[J];电子显微学报;2014年02期

2 王建辉;MEMS封装和微组装技术面临的挑战[J];光机电信息;2002年04期

3 隋灵禾;戴旭涵;王佩红;赵小林;;MEMS镍平面弹簧非线性力学性能仿真及研究[J];微纳电子技术;2010年12期

4 李华,石庚辰;MEMS平面微弹簧弹性系数的研究[J];探测与控制学报;2005年04期

5 Jon Titus;MEMS设计是科学与艺术的结合[J];电子产品世界;2004年24期

6 张健;李伟华;;基于力学描述的MEMS悬臂梁系统级动态模拟方法[J];传感技术学报;2006年05期

7 胡春光,胡晓东,金翠云,栗大超,郭彤,傅星,胡小唐;MEMS动态测试中频闪同步控制系统[J];天津大学学报;2005年01期

8 赵焕玲;代洪兵;;基于MEMS惯性技术的^颂遣饬课蟛畈钩パ芯縖J];贵州科学;2012年01期

9 何光;石庚辰;;MEMS弹簧特性的有限元分析[J];微计算机信息;2006年35期

10 王晓东;王涛;李楠;刘梦伟;崔岩;王立鼎;;一种MEMS微结构谐振频率的测试技术[J];传感技术学报;2006年05期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 唐炜斌;徐利梅;黄大贵;李辉;;基于MEMS的一种微机械滤波器的分析[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集(下册)[C];2006年

2 徐爱东;杨拥军;卢新艳;;MEMS惯性器件的新进展及应用[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年

2 田文超;MEMS及纳米接触研究[D];西安电子科技大学;2004年



本文编号:838228

资料下载
论文发表

本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/yiqiyibiao/838228.html


Copyright(c)文论论文网All Rights Reserved | 网站地图 |

版权申明:资料由用户12773***提供,本站仅收录摘要或目录,作者需要删除请E-mail邮箱bigeng88@qq.com