原子力显微镜在材料器件工艺中的应用

发布时间：2017-09-13 23:06

  本文关键词：原子力显微镜在材料器件工艺中的应用

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【摘要】：介绍了原子力显微镜在碲镉汞材料器件工艺测试方面的应用。应用其可以进行磨抛后材料表面的粗糙度测试,接触孔形貌,以及外延后衬底的表面形貌。通过合理的选择扫描参数和探针,可以直观得到样品的表面形貌,接触孔还可以得到孔的尺寸和孔底形貌。尤其在接触孔测试方面,原子力的精度更高,抗干扰能力强且扫描结果更为直观,准确。本文通过对碲镉汞材料器件工艺中不同类型样品测试的介绍,认为原子力显微镜在碲镉汞材料器件工艺测试中发挥了较大的作用。
【作者单位】： 华北光电技术研究所;
【关键词】： 原子力显微镜 形貌 接触孔
【分类号】：TH742;TB302
【正文快照】： 1引言扫描隧道显微镜(STM)是1982年由国际商业机器公司苏黎世实验室的葛·宾尼博士和海·罗雷尔博士及其同事们共同成功研制的世界上第一台新型表面分析仪器[1-2]。STM的工作原理是基于量子理论中的隧道效应,它测得的是样品表面费米能级附近的电子态密度,要求所观测的样品必须

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本文编号：846415