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大口径平面面形绝对测量及重力影响分析

发布时间:2017-09-15 09:33

  本文关键词:大口径平面面形绝对测量及重力影响分析


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【摘要】:为分析大口径平面光学元件面形绝对测量的准确度,补偿重力引起的形变误差,在分析基于奇偶函数法的三平面互检算法的基础上,利用3片准300 mm口径的待测平面镜进行实验测量分析。对于三平面互检中不同装夹方式下的重力引起镜片形变情况进行有限元仿真分析,据此对测量数据进行修正并对最终面形结果进行补偿,使测量结果更加逼近真实值。
【作者单位】: 中国工程物理研究院计量测试中心;
【关键词】三平面互检 绝对测量 奇偶函数法 重力变形 有限元分析
【分类号】:TH74;TP274
【正文快照】: 0引言数字波面干涉测量技术将光学干涉和数字计算技术相结合,可以实现高精度、快速、非接触式和自动化测量,在惯性约束聚变(ICF)、空间遥感探测以及极紫外光刻(EUVL)等大型超精密光学系统工程中应用广泛[1-4]。激光平面干涉测量结果的准确性受参考平面面形精度的制约,为了得到

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 张宇;金春水;马冬梅;王丽萍;;极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究[J];红外与激光工程;2012年12期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 高芬;蒋庄德;李兵;田爱玲;;基于扩展平均的多步相移算法及误差抑制特性比较[J];光子学报;2014年04期

2 张宇;金春水;马冬梅;王丽萍;;光纤相移点衍射干涉仪关键技术[J];红外与激光工程;2015年01期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 邵卫红;点衍射干涉检测系统光学结构参数优化及误差分析研究[D];浙江大学;2014年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 卢增雄;金春水;张立超;王丽萍;;极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析[J];光学学报;2010年10期

2 何勇,陈磊,王青,朱日宏;移相式泰曼-格林红外干涉仪及应用[J];红外与激光工程;2003年04期

3 贺俊;王青;陈磊;;移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术[J];红外与激光工程;2008年03期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 王载勇;;液闪绝对测量法的小改进[J];计量技术;1990年01期

2 余葵芳;;~(60)CO、~(137)Cs、~(241)Am核素活度的绝对测量[J];计量技术;1988年06期

3 李承业,刘家农,刘栓存,夏永健;实现光通量绝对测量和大光通量精密测试的新设计[J];仪器仪表学报;1984年03期

4 ;[J];;年期



本文编号:855707

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