应用五轴离子束修正超高陡度镜面

发布时间：2017-09-15 22:13

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【摘要】：为了验证离子束修正超高陡度镜面的能力,对采用五轴离子束加工超高陡度镜面的问题进行了分析研究和加工实验。根据现有检测条件制定了实验方案并对面形数据进行了处理;对超过机床五轴加工摆轴行程区域的驻留时间进行了补偿;建立了离子束五轴加工后置处理算法,根据该算法编制了数控程序生成软件,并通过实验验证了生成的数控程序的正确性;最后进行了超高陡度镜面的五轴离轴加工实验,经过5轮迭代加工后,元件面形由初始的峰谷(PV)值为57.983 nm、均方根(RMS)值为9.406 nm,收敛PV值为11.616 nm、RMS值为1.306 nm,总收敛比达到7.20。实验结果表明:采用五轴离子束加工超高陡度镜面的方案可行,并且获得了较高的收敛效率和加工精度,同时验证了离子束离轴镜加工的可行性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【关键词】： 光学制造 离子束 超高陡度 面形修正
【基金】：国家科技重大专项(2009ZX02205)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言离子束修形作为一种非接触式光学加工方法,具有加工精度高、去除函数稳定、面形收敛速度快、无边缘效应和亚表面损伤等特点,广泛应用于超高精度光学元件的加工[1-3]。离子束修形同样采用了现代光学制造领域广为人知的计算机控制表面成型技术的基本理论,根据材料去除量精

【参考文献】

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【共引文献】

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【相似文献】

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本文编号：859190