MEMS扫描镜温度可靠性测试

发布时间：2017-09-16 07:14

  本文关键词：MEMS扫描镜温度可靠性测试

  更多相关文章： MEMS扫描镜 可靠性 高低温存储 温度冲击

【摘要】：温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响,再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描镜可靠性的影响,分析扫描镜在试验中是否失效和失效的原因。试验结果表明:高温对MEMS扫描镜外框架和镜面振幅无影响,低温对MEMS扫描镜外框架振幅影响较大,增幅达12.3%,对镜面振幅无影响;低温存储由于水汽凝结会导致MEMS扫描镜失效,高温存储对MEMS扫描镜可靠性无影响。
【作者单位】： 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室;西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室;西北工业大学深圳研究院;
【关键词】： MEMS扫描镜 可靠性 高低温存储 温度冲击
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51375399,51375400) 西北工业大学基础研究基金资助项目(JCY20130119) 深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划项目(JCYJ20120614154203639)
【分类号】：TH811
【正文快照】： 0引言 都应用在航空领域、汽车电子行业以及其他工业领域。诸微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)是 多其它试验表明,温度因素对电子产品的可靠性有很大影集执行器和传感器等微型装置、微型机构、微尺度驱动和控 响12]。振幅是扫描镜的最重要性能参数,本文首先

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 陈勤;范树新;张维波;;MEMS传感器的标准化现状与发展对策[J];传感器与微系统;2007年08期

2 傅钊;;温度湿度对产品的影响分析[J];电子产品可靠性与环境试验;2010年02期

3 燕斌;苑伟政;乔大勇;刘耀波;吴蒙;李昭;;一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究[J];光学学报;2012年06期

4 张文明;孟光;;MEMS可靠性与失效分析[J];机械强度;2005年06期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 郝星;苑伟政;常洪龙;牛昊彬;焦文龙;;MEMS系统级仿真中的一种变截面梁建模方法[J];微纳电子技术;2010年08期

2 王勇;;MEMS技术发展及应用优势[J];飞航导弹;2011年05期

3 刘耀波;苑伟政;乔大勇;杨璇;梁晓伟;练彬;;一种新型静电驱动二维微型扫描镜的设计及模态[J];光学学报;2013年06期

4 李晓莹;梁晓伟;乔大勇;刘耀波;潘春辉;练彬;;基于李萨如扫描的微型激光投影显示技术[J];光学学报;2014年06期

5 郭永献;梁丽萍;张大兴;;微机电系统开关可靠性及失效分析[J];金属热处理;2007年S1期

6 郑利兵;石庚辰;;MEMS用平面弹簧结构形状与刚度关系的研究[J];机械强度;2008年01期

7 邝泳聪;欧阳高飞;张宪民;;基于可靠性的连续体结构拓扑优化设计[J];机械强度;2009年04期

8 朱豫晋;梁新建;金磊;;微/纳机电系统中的毛细黏附作用[J];科技导报;2009年02期

9 魏金銮;;福建省发展MEMS传感器的思考[J];甘肃科技纵横;2008年05期

10 王永泉;陈花玲;赵建平;朱子才;;基于Weibull分布的MEMS器件冲击可靠性建模[J];机械强度;2013年01期

中国重要会议论文全文数据库 前3条

1 郭永献;梁丽萍;张大兴;;微机电系统开关可靠性及失效分析[A];2007年全国失效分析学术会议论文集[C];2007年

2 李孝涛;陶俊勇;张云安;;微倾斜悬臂梁力学特性研究与仿真分析[A];2010年全国机械行业可靠性技术学术交流会暨第四届可靠性工程分会第二次全体委员大会论文集[C];2010年

3 王吉晖;高路;金伟其;何兴道;;用于微机电器件无损检测的显微热成像技术进展[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（上册）[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 黄建平;MEMS晶体薄膜构件热学性质的晶格动力学研究[D];国防科学技术大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 续婷;基于神经网络的微悬臂梁可靠性分析[D];中北大学;2011年

2 韩小林;微机械电容式加速度计的设计及制备[D];电子科技大学;2011年

3 李孝涛;微倾斜悬臂梁在振动冲击载荷下的可靠性分析[D];国防科学技术大学;2010年

4 王钊;典型引信MEMS微弹簧可靠性研究[D];中北大学;2012年

5 李莉;Cu/Sn等温凝固键合技术在MEMS圆片级气密封装中的应用[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2006年

6 詹林献;MEMS器件的可靠性研究与测试系统的开发[D];厦门大学;2009年

7 黄文静;304不锈钢微电极腐蚀行为研究[D];华中科技大学;2009年

8 吕华琳;一种基于MEMS的光电倾角传感器的设计及仿真[D];华南理工大学;2010年

9 李天昊;基于气体压缩式施压的纳米压印研究[D];郑州大学;2013年

10 周洪伟;四象限探测器噪声测试系统设计及其应用研究[D];西安电子科技大学;2013年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期

2 袁野,邹勇卓,鲍俊峰,曹钟慧,吴兴坤;一种新型微机电系统可调光衰减器[J];光学学报;2004年03期

3 张洁;黄尚廉;张智海;孙吉勇;史玲娜;朱永;;基于微机电系统光栅平动式光调制器实验和优化设计[J];光学学报;2007年09期

4 虞益挺;苑伟政;王兰兰;乔大勇;梁庆;;微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验[J];光学学报;2008年11期

5 燕斌;苑伟政;虞益挺;乔大勇;孙瑞康;李太平;;一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试[J];光学学报;2010年11期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 钱勇;南树军;刘立恒;周军;;基于模型预估方法补偿扫描镜运动对成像影响分析[J];弹箭与制导学报;2006年03期

2 汪淳曦;李树华;;多面体红外扫描镜的光学加工[J];激光与红外;1979年07期

3 钱鸿麟,耿瑞珍;轻量化45°旋转扫描镜系统[J];红外与毫米波学报;1992年03期

4 张卫国;冯卓祥;陶忠;王虎;;扫描镜动态面形变化和模态分析[J];应用光学;2006年01期

5 贾英宏;徐世杰;;地球静止轨道卫星扫描镜运动补偿[J];北京航空航天大学学报;2007年08期

6 罗渠;袁立;杨磊;聂云松;;一种驱动扫描镜扫描运动的方法[J];航天返回与遥感;2006年01期

7 汪逸群;颜昌翔;贾平;;扫描镜设计与精度分析[J];电子测量与仪器学报;2012年12期

8 游思梁;陈桂林;王淦泉;;星载辐射计扫描镜太阳辐射热-结构建模与仿真[J];中国空间科学技术;2011年01期

9 沈毅力;吕旺;于永江;程卫强;;用于图像定位与配准的扫描辐射计扫描镜热变形模型研究[J];上海航天;2014年02期

10 于哲峰,杨智春;三轴稳定卫星扫描镜运动的偏差与补偿[J];西北工业大学学报;2003年04期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 贾英宏;刘勇;徐世杰;;航天器两自由度扫描镜图象运动补偿技术研究[A];全国第十二届空间及运动体控制技术学术会议论文集[C];2006年

2 贺小军;王金玲;张贵祥;;扫描镜速度稳定度对TDI CCD测角精度的影响分析[A];中国空间科学学会2013年空间光学与机电技术研讨会会议论文集[C];2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 于哲峰;星体/扫描镜耦合运动分析及扫描镜运动补偿方法研究[D];西北工业大学;2003年

2 逯博;红外地球敏感器扫描镜摆幅光电测试系统研究[D];长春理工大学;2005年

3 胡勇;微显示扫描镜的理论研究与分析[D];华中科技大学;2006年

4 付文;基于压电陶瓷激光扫描镜闭环控制算法的研究[D];华中科技大学;2013年

，

本文编号：861616