一种新型静电斥力微驱动器的设计与仿真

发布时间：2017-09-18 18:02

  本文关键词：一种新型静电斥力微驱动器的设计与仿真

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【摘要】：在电容式MEMS微驱动器中,静电引力驱动最为常见,但介质充电会引起"粘连失效"等可靠性问题,而静电斥力驱动不存在这样的可靠性问题。首先通过有限元仿真软件了分析对比了静电引力和斥力的不同产生机理。针对静电斥力微驱动器驱动电压大、形变量小、难以满足实用化要求的缺点,在基本结构基础上设计一种四段支撑结构的静电斥力微驱动器结构,并研究了关键结构参数对可动极板变形量的影响,确定了最优结构尺寸。通过结构优化,可动极板最大变形量可以在80 V的驱动电压下从0.271μm增加到0.399μm,形变量得到显著提高。
【作者单位】： 太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心新型传感器和智能控制系统重点实验室(教育部);
【关键词】： 微机电系统 驱动电压 静电斥力 驱动器 可靠性问题 形变量
【基金】：山西省科技研究基金项目(2014011019-1) 国家青年基金项目(51505324)
【分类号】：TH-39;TH703
【正文快照】： 0引言微驱动器是微机电系统中的重要组成部件[1],可广泛应用在微谐振器、相控阵天线、RF MEMS开关[2]、MEMS变形镜[3-5]等领域。目前,微驱动器有电磁、压电、静电等多种驱动实现机制[6],其中,静电驱动凭借结构简单、响应速度快、容易实现等优点成为最常见的驱动方式。然而,当

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：877013