一种新型三维微位移工作台的设计和分析

发布时间：2017-09-18 23:39

  本文关键词：一种新型三维微位移工作台的设计和分析

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【摘要】：为了解决微位移工作台的三维耦合问题,设计了一种驱动器固定的三维无耦合微位移工作台.本文介绍了它的结构和工作原理,通过有限元分析计算和样机实测验证,分别在X方向,X、Y方向和X、Y、Z方向施加载荷时,三维微位移工作台在X方向的位移不变,解决了三维空间运动耦合问题;分别在X、Y、Z方向施加不同载荷时,得到了工作台X、Y、Z方向的刚度,验证了工作台的位移、最大等效应力与载荷成正比.样机实测结果与有限元计算结果相吻合,工作台符合设计要求.
【作者单位】： 合肥工业大学机械与汽车工程学院;合肥工业大学化学工程学院;
【关键词】： 三维微位移工作台 驱动器固定 耦合运动 有限元
【基金】：国家大学生创新性实验计划资助项目(201210359001)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一.高精度和高分辨率的精密、超精密微位移系统在微机电系统、扫描探测显微镜、超精密加工、光学元件制造以及生物医学工程等尖端工业生产和科学研究领域内得到广泛应用.例如,近年来微电子技术向超大规模集成电路方向发展,线条宽度

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本文编号：878237