电热式微机电系统微镜傅里叶变换红外光谱仪

发布时间：2017-09-20 19:39

  本文关键词：电热式微机电系统微镜傅里叶变换红外光谱仪

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【摘要】：为了研制小体积、低成本、高分辨率的微型傅里叶变换红外光谱仪,通过选择电热式微机电系统(MEMS)微镜作为迈克尔逊干涉仪动镜,在满足了傅里叶光谱仪小型化、便携化的同时,利用折叠双S型Bimorph驱动结构来实现双倍位移量以确保较高分辨率,并将分束器外置来进行不同波段的灵活选择,进而实现全光谱范围的应用。以1 310 nm激光作为参考光光源,钨灯宽带光作为待测光源信号,通过信号采集、滤波、插值、光谱恢复步骤完成原始信号采集到光谱信号复原的过程。测试结果表明:电热式微镜的位移量可达到500μm,光谱理论分辨率1 nm,光谱仪整机尺寸小至62 mm×62 mm×28 mm。测试基线噪声为0.000 04,基线重复性为0.000 32,吸光度重复性为0.000 48。性能指标能满足食品安全、药品检测、石油化工等领域的光谱检测应用。
【作者单位】： 贵州大学大数据与信息工程学院;贵州省光电子技术及应用重点实验室;无锡微奥科技有限公司;
【关键词】： 电热驱动 MEMS微镜 傅里叶变换红外光谱仪 基线噪声 吸光度
【基金】：国家自然科学基金(11204046) 国际合作研究项目(2014DFA00670) 国家仪器研究专项基金(2011YQ03012407)
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： 0引言光谱仪是一种通过光谱信息分析物质对光作用特征的仪器,可检测不同物质化学组分光谱信息。16世纪牛顿发现了太阳光的色散现象,利用棱镜将太阳光成功分成几种不同颜色的光,奠定了光谱学的基础。18世纪克西霍夫(Gustav Robert Kirchhoff)设计了世界上第一台光谱仪[1]。随着

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本文编号：890052