一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

发布时间：2017-09-22 15:28

  本文关键词：一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

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【摘要】：提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。
【作者单位】： 昆明物理研究所;
【关键词】： 非球面面形参数 接触式轮廓仪 ZYGO干涉仪 测试精度
【基金】：国防科技工业技术基础科研支持项目
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言非球面即为与球面有偏离的表面,在光学系统中采用非球面光学元件,不仅可以减少光学元件的数量和减轻重量,缩小系统尺寸,简化仪器结构,而且有利于校正像差,改善成像质量,还能够增加光学设计的自由度,降低成本。因此在现代光学系统中得到了广泛应用,特别是红外非球面光学

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本文编号：901597