三轴电容式微加速度计接口ASIC设计

发布时间：2017-09-24 20:28

  本文关键词：三轴电容式微加速度计接口ASIC设计

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【摘要】：基于CSMC0.5um CMOS工艺,给出了一款3轴电容式微加速度计接口ASIC的详细设计方案。利用时分复用技术实现了使用同一电路模块同时检测3个轴向的加速度信号,利用相关双倍采样技术提高了电容电压转换的分辨率,利用Sigma_Delta调制技术对电路噪声进行有效整形。仿真得到系统的分辨率为0.91 a F/Hz1/2,3个轴向的噪声密度分别为43.60μg/Hz1/2、43.60μg/Hz1/2和45.70μg/Hz1/2,3个轴向输出数字脉冲信号占空比的非线性度分别为1.38%、0.91%和1.79%。
【作者单位】： 合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心;
【关键词】： 三轴微加速度计 接口ASIC 时分复用 相关双倍采样 Sigma_Delta
【基金】：国家863计划项目(2013AA041101)资助项目
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 1引言由3个单轴组合而成的3轴加速度计由于体积大、精度低和可靠性差等原因逐渐被淘汰,取而代之的是基于CMOS工艺的单片集成3轴微加速度计和基于体硅工艺并将敏感结构单元与接口电路封装在一起的3轴微加速度计[1]。相较于压电式和压阻式,电容式微加速度计具有灵敏度高、温度漂

【参考文献】

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本文编号：913309