一种新结构介观压光型微加速度计

发布时间：2017-09-26 22:36

  本文关键词：一种新结构介观压光型微加速度计

  更多相关文章： 光子晶体 透射率 加速度计 直拉直压 灵敏度

【摘要】：对镜像异质三周期光子晶体的研究理论表明,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系。据此,设计一种能实现微梁直拉直压的加速度计,微梁很小很敏感,处于轴向直拉直压位置时,能极大提高结构的灵敏度和自由振动频率。以镜像异质三光子晶体替代以往的压敏电阻,只需检测其透射率,即可得出加速度大小。最后结果表明:当透射光强改变1酃时,该结构可以感知小于0.4mgn的加速度的变化,测量量程可达3.2gn。
【作者单位】： 中北大学理学院;中北大学电子测试技术国家重点实验室;中北大学微米纳米技术研究中心;
【关键词】： 光子晶体 透射率 加速度计 直拉直压 灵敏度
【基金】：国家自然科学基金(60776062,50730009);国家自然科学基金仪器专项基金(61127015)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言作为一种惯性器件,加速度计在车辆、自控、振动测试和航空航天等领域有着十分广泛的应用,目前已开发了压电式、压阻式、隧道式、电容式多种类型的硅微加速度计[1]。加速度计的结构设计总体上都是向着提高灵敏度以及提高带宽的方向发展[2]。J.T.Suminto提出了一种微机械压

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 吴瑞;温廷敦;;基于介观压阻效应的硅微加速度计研究[J];传感技术学报;2007年08期

2 刘启能;刘沁;;一维光子晶体全反射隧穿的色散特性[J];光子学报;2013年05期

3 唐军;杨华军;徐权;廖建文;袁舒;胡渝;;传输矩阵法分析一维光子晶体传输特性及其应用[J];红外与激光工程;2010年01期

4 沈瑜;王建中;骆钧炎;胡慧珠;;基于激光捕获的加速度测量原理及仿真[J];红外与激光工程;2010年03期

5 田义;李奇;张励;李卓;;一维光子晶体红外空间光调制器的构想[J];红外与激光工程;2012年09期

6 倪培根;;光子晶体制备技术和应用研究进展[J];物理学报;2010年01期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李棚;张明存;叶飞;;一维光子晶体周期层厚度对禁带宽度的影响[J];赤峰学院学报(自然科学版);2012年06期

2 程显中;李志鑫;朱云;刘绍宏;;反蛋白石结构硫化锑光子晶体的制备[J];东北大学学报(自然科学版);2011年12期

3 李成凤;;不同参数对一维光子晶体透射谱的影响[J];光谱实验室;2011年02期

4 宗明吉;薛冬;梁兰菊;;一维光子晶体的透射谱特性[J];光谱实验室;2011年03期

5 武一洁;杨立森;王龙飞;李永辉;逯文婷;;全光法制作三维光子晶体的研究进展[J];信息记录材料;2013年02期

6 马英舜;许丽萍;温廷敦;毛宏庆;闫红梅;;基于异质双周期结构光子晶体加速度计的设计[J];材料导报;2013年06期

7 孙冬丽;;一维光子晶体传输特性的研究[J];轻工科技;2014年01期

8 汤帅;许丽萍;温廷敦;;基于镜像结构光子晶体的微加速度计设计[J];传感器与微系统;2014年02期

9 彭鹏;温廷敦;许丽萍;汤帅;;基于镜像异质三周期光子晶体的陀螺仪研究[J];传感技术学报;2014年01期

10 张荣军;张娟;夏睿申;;非线性一维光子晶体反射谱的多值特征研究[J];光子学报;2014年09期

中国博士学位论文全文数据库 前5条

1 熊学辉;平面光栅阵列纳米尺度光子控制及其应用技术研究[D];华中科技大学;2011年

2 李文超;折射率可调的光子晶体及实验的研究[D];河北工业大学;2011年

3 孙梅;突变材料对光电器件中电流、热量和光波控制的研究[D];河北工业大学;2010年

4 王小聪;新型低维聚苯胺纳米（复合）材料的控制制备及其形成机理研究[D];天津大学;2011年

5 塔金星;反铁磁光子晶体的磁/声极化子及光学性质研究[D];哈尔滨工业大学;2012年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 温廷敦,张文栋;介观压阻效应[J];微纳电子技术;2003年Z1期

2 刘宗林,李圣怡,吴学忠;新型三轴微加速度计设计[J];传感技术学报;2004年03期

3 陈雪萌,李昕欣,宋朝晖,王跃林,黄晖,黄树森,张鲲;一种新结构硅微机械压阻加速度计[J];传感技术学报;2005年03期

4 费龙，钟先信，温志渝，高扬;硅微加速度传感器的现状及研究方向[J];传感器技术;1995年05期

5 徐旭明;方利广;刘念华;;含负折射率层的多层体系的反常光子隧穿[J];光学学报;2005年12期

6 王宏;欧阳征标;韩艳玲;阮双琛;;含色散介质的一维光子晶体微腔的光学特性和模式调节[J];光学学报;2007年05期

7 刘启能;;一维光子晶体的全反射隧穿效应的解析研究[J];光学学报;2012年02期

8 王瑞;张存喜;聂一行;;一维各向异性光子晶体的带隙结构和传输特性[J];光子学报;2007年01期

9 刘启能;;一维矩形光子晶体中电磁波的传输特性[J];光子学报;2010年05期

10 张友俊,姬波,王向前,李英;光子晶体及其应用[J];红外与激光工程;2004年03期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 顾英,赵连元;微硅加速度计技术综述[J];飞航导弹;2002年09期

2 于治会;关于加速度计参数的选定[J];航空兵器;2002年06期

3 马欣龙,王永梁;梳齿式微机械力平衡加速度计[J];中国惯性技术学报;2002年03期

4 姜复兴,任顺清;加速度计指北技术研究[J];中国惯性技术学报;2002年05期

5 刘宗林,吴学忠,李圣怡;叉指式微硅加速度计的参数化设计[J];微纳电子技术;2003年Z1期

6 曾昭君,石进杰;一种抗大过载微型加速度计研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期

7 于治会;关于加速度计参数的选定[J];电气传动自动化;2003年03期

8 侯美丽,杨建辉,第五兴乐;确认姿态的双向微型加速度计[J];中国测试技术;2003年05期

9 蒋玉齐,程迎军,许薇,张鲲,李昕欣,罗乐;高量程MEMS加速度计封装工艺研究[J];传感器技术;2005年02期

10 赵岩;翟百臣;武克用;陈涛;;加速度计在非陀螺寻北系统中的应用研究[J];兵工学报;2006年02期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 曹慧丹;沈昱明;赖际舟;;微硅加速度计标定及试验研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集（2）[C];2008年

2 索智群;乔东海;;力平衡模拟反馈电容加速度计的研究[A];2010’中国西部声学学术交流会论文集[C];2010年

3 刘惠兰;林恒;李莉;张春熹;;光学加速度计的技术及发展[A];惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集[C];2004年

4 刘惠兰;林恒;李莉;张春熹;;光学加速度计的技术研究与发展[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年

5 钱朋安;;一体化多维加速度计研究的若干问题分析[A];中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集[C];2007年

6 宋长福;严小军;韩丰田;郭晓芳;马高印;;硅微静电悬浮加速度计关键技术研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年

7 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年

8 周泽兵;祝竺;;静电悬浮加速度计研究[A];中国地球物理2013——第二十六专题论文集[C];2013年

9 薛旭;李丹东;刘国文;万蔡辛;张承亮;;MEMS加速度计工程样机的研制[A];惯性技术发展动态发展方向研讨会文集——新世纪惯性技术在国民经济中的应用[C];2012年

10 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年

中国重要报纸全文数据库 前5条

1 包秋红;加速度计测试的加速者[N];中国航空报;2004年

2 唐新培;“黑黢侠”再显神威[N];中国航天报;2012年

3 黄忠魁 付秀娟 本报记者 徐建华;“敏感精灵”助力嫦娥探月[N];中国质量报;2014年

4 唐新培;搬走“三座山” 促成“太空吻”[N];中国航天报;2011年

5 北京弗欧弗奥信息咨询有限公司 谭薇;MEMS传感器大规模应用指日可待[N];中国电子报;2006年

中国博士学位论文全文数据库 前6条

1 蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年

2 杨杰;无陀螺捷联惯导系统加速度计构型研究与误差分析[D];哈尔滨工程大学;2011年

3 张习文;微小型加速度计的精密装配及影响性能的因素研究[D];大连理工大学;2013年

4 刘志平;无陀螺捷联惯导系统若干关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年

5 李博;基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究[D];中北大学;2008年

6 刘力;惯性传感器扭摆测试中地面振动和放电金丝的影响研究[D];华中科技大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 胡红革;硅挠性伺服加速度计设计[D];电子科技大学;2002年

2 李园晴;悬丝支承加速度计温度误差建模及补偿研究[D];上海交通大学;2011年

3 王巍;高精度加速度计测量系统的分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2011年

4 游侠飞;MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究[D];浙江大学;2012年

5 陆阳;高精度加速度计采集单元的设计及关键器件的研究[D];哈尔滨工程大学;2009年

6 席晋;加速度计数据采集与温度补偿技术研究[D];哈尔滨工程大学;2009年

7 解启瞻;捷联惯导系统中石英加速度计温漂补偿研究[D];重庆大学;2009年

8 庄瑞芬;硅微谐振式加速度计结构设计技术研究[D];南京理工大学;2009年

9 李发明;光学加速度计方案的初步研究[D];国防科学技术大学;2009年

10 韩小菊;声表面波加速度计的温度误差及补偿方法研究[D];西安科技大学;2009年

，

本文编号：926133