基于LabVIEW的MFC电磁阀直流信号发生及控制系统研制

发布时间：2017-09-29 05:09

  本文关键词：基于LabVIEW的MFC电磁阀直流信号发生及控制系统研制

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【摘要】：质量流量控制器(Mass Flow Contrllor,简称为MFC)是一种对气体的质量流量进行精密测量及控制的计量仪器,在半导体和集成电路、石油化工、真空镀膜、医药、环保等多种工业领域有着广泛的应用并起到了重要的作用。质量流量计加上一个控制阀门,就构成了一台质量流量控制器的基本结构。质量流量计产品(Mass Flow Meter,简称为MFM)可以实现对多种气体质量流量进行精准测量,质量流量控制器(MFC)可以实现对多种气体质量流量进行精准的测量和控制。电磁调节阀是质量流量控制器实现气体精准测量及控制的主要执行机构,其生产调试的精准程度和技术水平对整个MFC的量程、准确度、线性度、响应时间等各项技术参数指标有着重要的影响。本文首先阐述了MFC及电磁阀的工作原理、结构组成及指标参数,接着阐述了电磁阀调试工艺的国内外现状以及LabVIEW在MFC生产工艺管控过程中的广泛应用。阐明了LabVIEW软件平台应用于电磁阀调试工艺的优势,介绍了系统的总体设计方案及软硬件组成。阐述了电磁阀调试系统的测量原理,把系统软件按照功能划分为控制信号发生控制,参数配置、数据采集、数据处理及报表四个组成部分。最终在LabVIEW2012软件平台上实现了该四个模块软件功能,最后讨论了整个电磁阀调试系统调试结果和整个系统开发过程中遇到的问题及解决方案。课题最终设计完成了MFC电磁阀调试系统,可以完成对MFC产品电磁阀的全部性能指标精准调试,并将调试结果生成报表作为总要工艺过程数据自动保存。目前该系统已经应用于实际生产,并在提高质量流量控制器产品工艺调试效率、有效防错、降低返修率、提高响应时间等方面起到了重要的作用。
【关键词】：LabVIEW MFC 电磁阀
【学位授予单位】：北京工业大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TH814.6;TP273
【目录】：

• 摘要4-5
• Abstract5-8
• 第1章 绪论8-16
• 1.1 课题背景8-10
• 1.2 自动测试系统发展及基本组成10-12
• 1.3 质量流量控制器组成及基本原理12-13
• 1.4 电磁调节阀工作原理13-14
• 1.5 国内外电磁阀工艺现状14-15
• 1.5.1 我国电磁阀工艺现状14
• 1.5.2 国际电磁阀工艺现状14-15
• 1.6 课题主要工作15-16
• 第2章 系统整体设计方案16-22
• 2.1 电磁阀控制信号发生及控制系统设计要求16-17
• 2.2 系统总体设计方案17-20
• 2.3 本章小结20-22
• 第3章 电磁阀控制信号发生及控制系统参数测量原理22-34
• 3.1 电磁阀工作特性分析22-24
• 3.2 电磁调节阀力学分析及计算24-27
• 3.3 电磁阀驱动参数测量方法27-29
• 3.4 电磁阀响应曲线测量方法29-33
• 3.5 本章小结33-34
• 第4章 电磁阀控制信号发生及控制系统软件设计34-44
• 4.1 LabVIEW开发平台介绍34-36
• 4.2 软件功能模块划分36
• 4.3 软件总体设计方案36-37
• 4.4 控制信号发生模块设计37-38
• 4.5 控制信号输出及显示模块设计38-39
• 4.5.1 控制信号输出模块38-39
• 4.5.2 控制信号显示模块39
• 4.6 数据采集及处理模块设计39-41
• 4.6.1 数据采集模块设计40-41
• 4.6.2 数据处理模块设计41
• 4.7 数据存储及查询模块设计41-43
• 4.7.1 数据存储模块设计42
• 4.7.2 历史数据查询程序42-43
• 4.8 本章小结43-44
• 第5章 软硬件联调44-54
• 5.1 系统硬件测试过程44-48
• 5.2 系统软硬件联调测试结果48-52
• 5.3 遇到的问题及解决方案52-53
• 5.4 本章小结53-54
• 结论54-56
• 参考文献56-60
• 致谢60

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5 董春e，

本文编号：940127