微缩投影系统的垂轴放大率测量

发布时间：2017-09-29 18:30

  本文关键词：微缩投影系统的垂轴放大率测量

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【摘要】：考虑有限距光学系统的成像质量与系统垂轴放大率相关,本文提出了基于系统波像差检测的垂轴放大率测量方案。以给定的光学系统中像平面位置与物平面位置满足高斯公式和牛顿公式的原理为出发点,通过系统波像差中离焦量的变化监控物点移动微小量后像点的移动距离。然后,对牛顿公式或高斯公式微分导出轴向放大率,最终求出系统垂轴放大率。建立了垂轴放大率测量模型,给出物点的微小位移量和初始离焦量的选取标准,并系统地分析了光学元件形位公差和像点定位精度对垂轴放大率测量结果的影响。搭建了基于点衍射干涉仪的微缩投影系统波像差检测平台,测量了系统的垂轴放大率。实验显示,系统垂轴放大率的测量值与理论值的偏差优于0.24%,验证了提出的垂轴放大率测量方法的可行性和理论分析的准确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【关键词】： 成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦
【基金】：国家科技重大专项基金资助项目(No.2008ZX02501-008)
【分类号】：TH741.5
【正文快照】： 1引言系统波像差和垂轴放大率均是衡量如光刻系统[1-4]等有限距光学系统成像质量的关键指标[5]。其中,光学系统的垂轴放大率仅取决于系统共轭面位置,其像差矫正通常也针对特定的物像共轭点,即在满足特定的系统垂轴放大率需求的前提下完成波像差优化。目前,垂轴放大率测量方法

【共引文献】

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本文编号：943604