高灵敏度QVBA限位结构设计研究

发布时间：2017-10-01 00:18

  本文关键词：高灵敏度QVBA限位结构设计研究

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【摘要】：石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石英摆片的最大位移量进行限制以提高器件的抗冲击性能,又可增加石英摆片振动过程中的阻尼力以提高器件的抗振动性能,降低了加速度计一阶模态谐振频率的限制条件,有效提高了加速度计的灵敏度。最后依据加速度计的结构特点设计出了相应的工艺制作方案,并加工出了差分结构的加速度计样机,经测试其灵敏度为65.74Hz/g,10min零位稳定性为15.8μg。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第26研究所;中国人民解放军驻重庆气体压缩机厂军事代表室;
【关键词】： 石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言石英振梁加速度计(QVBA)利用振梁受到轴向应力时谐振频率发生变化的性质来检测输入的加速度,具有检测精度高,准数字输出及量程范围宽等优点[1],在数字信号处理领域已开始逐步取代传统的力平衡式加速度计。目前,QVBA有双振梁和单振梁两种结构。美国的Kearfott公司采用双振

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 赵君辙;邢馨婷;杨中柳;;线加速度计的现状与发展趋势综述[J];计测技术;2007年05期

2 陈巍;闫海;杨贵玉;陈圣广;周建发;向毅;;石英振梁加速度计微细加工工艺研究[J];仪表技术与传感器;2009年S1期

3 张巧云;林日乐;谢佳维;朱振忠;张挺;吕志清;;石英微加工技术在微陀螺研制中的应用(英文)[J];压电与声光;2009年06期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前9条

1 尹立鹏;陈娟;王虎;;加速度计应用[J];长春工业大学学报(自然科学版);2010年01期

2 马跃;李松;李莹;翁寅侃;;加速度计信号处理的建模与仿真[J];计算机仿真;2012年03期

3 刘广军;姜涛;;面向输出性能的微加速度计建模与拓扑优化[J];同济大学学报(自然科学版);2012年09期

4 邹海荣;;压阻式硅加速度计固有频率的解析计算[J];上海电机学院学报;2012年05期

5 林日乐;谢佳维;周倩;满欣;李文蕴;张巧云;;石英MEMS陀螺的结构特性分析[J];压电与声光;2011年04期

6 林日乐;李文蕴;赵建华;周倩;满欣;谢佳维;;石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究[J];压电与声光;2013年01期

7 徐兴柱;;一种高精度内测惯性组合技术方案研究[J];战术导弹技术;2013年03期

8 林日乐;赵建华;林珂;满欣;李文蕴;周倩;翁邦英;;石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析[J];压电与声光;2013年04期

9 林丙涛;李海;蒋昭兴;董宏奎;赵建华;张巧云;;一种基于谐振原理的微型压力传感器设计[J];压电与声光;2014年02期

中国重要会议论文全文数据库 前1条

1 刘韧;李海燕;李佳;;提高石英基片Cr/Au掩膜抗腐蚀性的试验性研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库 前3条

1 胡锐;惯性辅助GPS深组合导航系统研究与实现[D];南京理工大学;2010年

2 肖光宗;基于Y型腔正交偏振双频激光器的激光加速度计初步研究[D];国防科学技术大学;2011年

3 张习文;微小型加速度计的精密装配及影响性能的因素研究[D];大连理工大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 庞松;光纤捷联组合导航系统设计与实验研究[D];哈尔滨工程大学;2010年

2 谭振新;HEMT嵌入式微加速度计的优化设计与测试[D];中北大学;2011年

3 陈浩;基于SOI的电容式微加速度计的建模及系统级仿真分析[D];电子科技大学;2011年

4 牛正一;单片集成三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2010年

5 袁文祥;激光路面检测系统颠簸分析及测量装置研制[D];哈尔滨工业大学;2011年

6 李永光;高精度加速度计标定与补偿技术研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

7 练斌;磁悬浮式加速度计悬浮体的研究[D];浙江大学;2012年

8 李瑞强;管道内检测器惯性导航定位方法的研究[D];沈阳工业大学;2012年

9 桂小明;基于动调陀螺测斜仪控制电路的研究[D];重庆大学;2008年

10 郝宏伟;小直径高速旋转弹姿态参数测试技术研究[D];中北大学;2009年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 史建伟,陈德英;隧道加速度计的发展概况[J];电子器件;1999年03期

2 顾英;惯导加速度计技术综述[J];飞航导弹;2001年06期

3 王惠文,娄英明,江先进;光纤加速度传感器研究进展[J];光学技术;1997年05期

4 张春京,原俊安,李凡东,王雷,任多立;从加速度计测试技术研究看惯性仪表测试技术发展趋势[J];航天控制;2005年02期

5 郑露滴,A.Asundi,N.C.Tien,Z.Chen,A.Q.Liu;采用微机械加工技术的微光学加速度计[J];仪器仪表学报;2001年02期

6 白韶红;加速度计的发展[J];自动化仪表;1999年09期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 陈巍;闫海;杨贵玉;陈圣广;周建发;向毅;;石英振梁加速度计微细加工工艺研究[J];仪表技术与传感器;2009年S1期

2 龚华荣;;振梁加速度计输出信号的处理方法[J];战术导弹控制技术;2002年01期

3 王磊;汪立新;杨建业;闫新;;基于时间序列的振梁加速度计随机误差模型研究[J];电光与控制;2009年11期

4 邓宏论;;石英振梁加速度计概述[J];战术导弹控制技术;2004年04期

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本文编号：951246