可实现误差估计的移相量计算方法

发布时间：2017-10-01 03:25

  本文关键词：可实现误差估计的移相量计算方法

  更多相关文章： 移相干涉仪 移相器 标定 误差估计 迭代算法

【摘要】：针对移相干涉仪中移相器的标定,提出了一种基于干涉图计算移相量的迭代方法。该方法分为两步:首先假设移相量已知,构建三元最小二乘方程计算位相;然后假设位相已知,构建二元最小二乘方程计算移相量,同时依据三角函数关系和遍历原则,建立估算移相量计算误差的参数。利用计算机仿真和实验验证了提出方法的有效性。计算机仿真显示:提出的方法比已有算法计算精度更高,而且误差估计值与实际计算误差偏离小于15%。在Fizeau干涉仪上开展了验证实验,利用两个电容位移传感器测量了镜架的位移。计算结果与电容传感器测量结果非常吻合,最大偏差仅为0.7nm。另外,利用本文方法得到的误差估计值为0.52nm,显示测量结果和计算结果的偏差在误差估计值范围内。所提出的方法可以高精度地提取移相量,且能给出移相量计算误差,是一种简单可靠的移相器标定方法。
【作者单位】： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;西安交通大学机械工程学院;
【关键词】： 移相干涉仪 移相器 标定 误差估计 迭代算法
【基金】：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.ZZ15008) 能力提升课题资助项(No.2015B0405)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言移相干涉仪因其分辨率高和重复性好而成为波面测量的一种重要仪器[1]。移相过程可以使干涉仪采集多帧干涉图计算每一像素点的位相,从而获得高的空间分辨率。测量中移相量应等于预设值,否则将导致波面测量误差,如经典的四步移相中,10nm的移相误差将导致20nm波长的波面误差

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 徐桂芳;快速弦位叠代法的收敛性及其误差估计[J];西安交通大学学报;1960年01期

2 周本宽,魏红宁;一种新型自适应误差估计方法[J];西南交通大学学报;1997年05期

3 金朝嵩;自适应边界元法的后验误差估计[J];重庆建筑大学学报;2000年06期

4 王慧,毛一波;多小波分解系数误差估计[J];渝西学院学报(自然科学版);2004年02期

5 卢波;葛修润;王水林;;自适应自然单元法研究——误差估计[J];岩石力学与工程学报;2005年22期

6 李锦彪;谢德馨;;三维稳态涡流场有限元分析的后验误差估计[J];电工技术学报;2010年04期

7 杨贵海;肖碧琴;袁富宇;;多平台目标定位误差估计技术研究[J];指挥控制与仿真;2010年02期

8 王礼正;当观测点各坐标均有误差时函数未知参数及其误差估计[J];大连海运学院学报;1979年03期

9 程良骏;林明灿;;水机效率试验的误差估计方法[J];水轮泵;1981年02期

10 许有信;端点条件对三次样条函数一阶、二阶导数误差估计的影响[J];南京航空航天大学学报;1984年04期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 费文平;刘家平;高明忠;;有限单元法的误差估计方法与自适应策略[A];第八次全国岩石力学与工程学术大会论文集[C];2004年

2 林治家;由小川;庄茁;;频域有限元计算的扩展面向目标误差估计[A];北京力学会第18届学术年会论文集[C];2012年

3 林治家;庄茁;;有限元计算的面向目标误差估计[A];北京力学会第十六届学术年会论文集[C];2010年

4 林治家;由小川;庄茁;;有限元计算的面向目标误差估计[A];中国计算力学大会'2010（CCCM2010）暨第八届南方计算力学学术会议（SCCM8）论文集[C];2010年

5 王浩;吴颂平;;基于单元不同方向尺度的有限元误差估计及其应用[A];计算流体力学研究进展——第十一届全国计算流体力学会议论文集[C];2002年

6 江涛;章青;;自然单元法的自适应研究[A];中国计算力学大会'2010（CCCM2010）暨第八届南方计算力学学术会议（SCCM8）论文集[C];2010年

7 庄茁;林治家;;基于连续体壳扩展有限元的面向目标误差估计[A];中国力学大会——2013论文摘要集[C];2013年

8 帅映勇;;后处理技巧在无网格法后验误差估计中的应用[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）[C];2007年

9 程军;由敬舜;蔡文豪;;有限元分析的误差估计及HP加密[A];第六届全国结构工程学术会议论文集（第一卷）[C];1997年

10 康彤;余德浩;;基于C-N格式的FD-SD法的后验误差估计[A];计算力学研究与进展——中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会论文集[C];1999年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 张伟伟;基于节点的局部网格生成算法及其应用研究[D];西北工业大学;2015年

2 程瑶;局部间断Galerkin方法的误差估计[D];南京大学;2016年

3 赵纪坤;各向异性局部重构型后验误差估计及自适应计算[D];郑州大学;2016年

4 王金磊;倒向随机微分方程的数值方法及其误差估计[D];山东大学;2009年

5 李洋;正倒向随机微分方程的高精度数值方法及误差估计[D];山东大学;2012年

6 程荣军;无网格方法的误差估计和收敛性研究[D];上海大学;2007年

7 葛亮;积分型受限最优控制问题有限元的后验误差估计[D];山东大学;2009年

8 王聚丰;插值型移动最小二乘法及其无网格方法的误差估计[D];上海大学;2013年

9 易年余;基于梯度重构的后验误差估计及自适应有限元方法[D];湘潭大学;2011年

10 王坤;粘弹性Oldroyd流体运动方程有限元方法的长时间稳定与误差估计[D];西安交通大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 张博;多边界特征的二阶特征抑制误差估计[D];浙江大学;2015年

2 周伟奇;用PML和少模态DtN边界条件截断的衍射光栅问题及其有限元离散的后验误差估计[D];南京大学;2015年

3 陈无及;基于STSA-FEM方法计算颗粒随机分布复合材料期望温度场的误差估计[D];长沙理工大学;2014年

4 许锦程;局部间断Galerkin方法关于非光滑初值的误差估计[D];南京大学;2016年

5 陈夏明;一类边界控制问题的先验误差估计和后验误差估计[D];华东师范大学;2009年

6 陈瑞山;一类边界控制问题的先验误差估计和后验误差估计[D];华东师范大学;2010年

7 李同娟;非线性耦合热问题有限元方法的后验误差估计[D];华东师范大学;2011年

8 赵纪坤;有限元插值的显式误差估计[D];郑州大学;2012年

9 闫甜甜;一类奇异摄动问题的最大模后验误差估计[D];兰州大学;2013年

10 黄晓娟;一些非协调板元误差估计新方法[D];郑州大学;2007年

，

本文编号：952059