干涉条纹带宽与波前频谱关系研究

发布时间：2017-10-01 14:31

  本文关键词：干涉条纹带宽与波前频谱关系研究

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【摘要】：干涉测量法是测量科学中最有效的手段之一,而无论是要增大其动态测量范围还是要检测面形的高频误差,都受限于检测的空间带宽,故干涉条纹带宽与波前频谱的关系就成为关注的重点。针对这一需求,结合傅里叶光学理论对干涉条纹带宽与波前频谱的关系进行了理论分析和仿真实验,得到了干涉条纹带宽与波前频谱的数值对应关系。结果表明,干涉条纹强度分布的空间频谱是波前分布函数的空间频谱基础上的扩展,扩展程度取决于波前分布的幅频积。频谱扩展程度与波前分布的幅频积呈正比,波前分布的幅频积越大,空间频谱扩展越宽。根据CCD分辨率确定干涉图的总带宽,可以计算出能测的波前最大空间频率,对后续研究各种干涉方法的频谱特性以及如何进行频谱带宽的优化分配,从而进一步提高可测面形空间频率的测量范围提供了理论依据。
【作者单位】： 北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室;北京理工大学光电学院;
【关键词】： 测量 条纹带宽 空间频率 波前频谱
【基金】：教育部“长江学者与创新团队”发展计划(IRT1212) 北京市教委科研计划项目(KM201511232006)
【分类号】：O436.1;TH74
【正文快照】： 1引言光学元件干涉检测技术朝着大口径、高精度、高分辨率、高测量重复性及抗干扰等方向发展。目前存在的主要问题是:高空间分辨率与大口径的矛盾,高精度与可测波前大动态范围的矛盾。这两对矛盾是大口径光学元件干涉检测的难点,也是该领域近期的研究热点。各种测量方法中涉及

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本文编号：954024