基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统

发布时间：2017-10-04 15:22

  本文关键词：基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统

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【摘要】：微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量级触发分辨力的新型谐振测头。利用聚偏氟乙烯(Poly vinylidene fluoride,PVDF)薄膜的压电特性和其谐振参数对微小作用力的高敏感性,PVDF薄膜与一体式光纤微测杆测球相结合构建成了基于PVDF薄膜的三维纳米谐振触发测头。该测头在z向以轻敲模式接触,在x、y向以摩擦模式接触。经过试验验证,由该测头与三维纳米定位平台、数据处理及反馈控制系统相结合构建成的三维谐振纳米触发定位系统在x、y、z三个方向的触发分辨力都达到了亚纳米量级,分别为0.12 nm、0.10 nm、0.12 nm;三维重复性误差分别为26 nm、36 nm、10 nm。试验结果证实了新型三维谐振测头及其系统的有效性。
【作者单位】： 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
【关键词】： 微纳米三坐标测量机 三维纳米测头 聚偏氟乙烯薄膜 三维谐振触发测头 三维谐振触发定位系统
【基金】：国家自然科学基金(51175141) 教育部博士点基金(20100111110011) 国家高技术研究发展计划(863计划,2008AA042409)资助项目
【分类号】：TH721
【正文快照】： 0前言*近年来,随着超精密加工和微细加工技术的广泛应用,微型机械、超精密光学器件、微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)等越发趋于微型化,传统的微纳米三坐标测量机(Coordinatemeasuring machining,CMM)已满足不了这些微小器件和微位移量的测量精度要求,因此

【共引文献】

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本文编号：971410