外差干涉定位系统中的锁相跟踪方法

发布时间：2017-10-05 01:08

  本文关键词：外差干涉定位系统中的锁相跟踪方法

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【摘要】：以外差干涉定位系统为研究对象,提出一种基于锁相跟踪的定位方法,简化了传统定位系统结构;就整个定位系统的工作过程及原理进行了说明,证明了锁相跟踪方法的可行性;讨论了系统工作过程中的核心功能环节的实现方法,分别对高频信号的发生、移相脉冲抑制以及鉴相过程进行详细说明。本文就鉴相电路功能和干涉锁相跟踪定位系统的输出进行了测试实验,实验结果证明高频鉴相电路输出准确度达到0.07o,锁相跟踪系统定位输出的合成不确定度为10.1 nm。
【作者单位】： 浙江大学电气工程学院;中国计量学院计量测试工程分院;
【关键词】： 外差干涉 锁相 定位 相位差 鉴相
【基金】：国家质检总局公益性行业科研专项(201210001-3) 国家自然科学基金(50705090)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言定位平台是工业生产和科学研究过程中的一个常用装置,其定位精度往往直接影响加工、生产的技术水平。随着超精密加工技术的发展,定位精度要求从传统的微米级提升到纳米级,因而需要新的定位方法和结构来满足需求[1-5]。为了提升定位精度,在定位系统的检测方法、机械结构、

【参考文献】

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本文编号：973888