拼接干涉仪在控制装校面形中的应用

发布时间：2017-10-05 16:36

  本文关键词：拼接干涉仪在控制装校面形中的应用

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【摘要】：通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式。并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度。实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值).空间分辨力高达5 mm~(-1),可以实现中频段的装校临控。使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形,测试不确定度小于100nm.与φ600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ(波长λ=632.8 nm)。
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【关键词】： 子孔径拼接 象散 局部面形 装校监测 全口径面形
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 高功率固体激光驱动器需要大it的大口径平面光学元件.这些元件径厚比大,装校后容易产生形变。为了保证光学元件装校后仍然保持高精度面形.元件上架前都要进行装校应力控制,优化装校参数。目前大口径光学元件装校应力控制主要使用大n径移扣式干涉仪,精度高,但大口径干涉仪造价

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本文编号：977866