平行双关节坐标测量机连杆微变形测量系统

发布时间：2017-10-05 21:16

  本文关键词：平行双关节坐标测量机连杆微变形测量系统

  更多相关文章： 微位移 平行双关节坐标测量机 PSD 变形 误差 样条插值

【摘要】：为准确测量平行双关节坐标测量机零件弹性变形量,从而对由此引起的测量误差进行补偿,进一步提高平行双关节坐标测量机测量精度和可靠性,介绍了一种基于PSD位移检测的杆件微变形测量方法,通过激光参考光束将变形量的测量转化为位移量的测量。以FPGA为核心搭建信号转换、采集及传输电路。在Lab VIEW环境编写上位机软件分析测量数据。使用ANSYS软件进行力学仿真分析提出测量系统应具备的精度指标及测量范围。使用激光干涉仪标定系统响应特性,通过2D等电压间隔输出实验测定PSD有效面积内的位移响应矩阵,采用2D双三次样条插值法修正系统响应的非线性误差。实验证实系统可实现1.32μm(2σ)的位移测量精度。可用于平行双关节坐标测量机杆件变形测量,且其安装尺寸较小,可以实现在线检测。
【作者单位】： 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
【关键词】： 微位移 平行双关节坐标测量机 PSD 变形 误差 样条插值
【基金】：国家自然科学基金(51375137)资助项目
【分类号】：TH721
【正文快照】： 1引言坐标测量机是以精密机械为基础的机、电、光、计算机融于一体的高精度测量设备。用于测量三维空间内的位置信息,可以通过一次夹装,多点测量结合不同类型的探头组合测量多种几何元素,结合相应的数据处理软件可以获取三维空间内的所有几何量信息。为适应不同环境及测量对象

【参考文献】

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【共引文献】

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【相似文献】

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本文编号：978860