串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响

发布时间：2017-10-07 07:11

  本文关键词：串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响

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【摘要】：采用对比扭转微镜的静电力矩与机械回复力矩随角度的变化规律的方法,对串联电容后,扭转微镜吸合角的变化规律进行了数值仿真和解析分析。结果表明:扭转微镜在保持尺寸参数的前提下,串联电容后,其吸合角增大,系统稳定性提高;串联的电容值不同,扭转微镜的吸合角也不同,且随着串联电容值的增大,吸合角逐渐减小。为扭转微镜在尺寸参数已经固定的情况下,如何扩展其偏转角范围提供了理论指导。
【作者单位】： 江西理工大学理学院;
【关键词】： 微机电 扭转微镜 电容 吸合角
【基金】：江西省教育厅科技项目(GJJ11468)资助 江西理工大学博士启动基金资助 江苏惠通集团公司横向课题“NIR光谱仪”资助
【分类号】：TH74;TH-39
【正文快照】： 0引言随着微机电系统(MEMS)技术发展[1],静电力驱动的扭转微镜逐渐广泛应用于投影显示[2]、光谱仪[3]、现代光通信[4]等方面。从上世纪八十年代末开始,研究人员开展了对静电力驱动的扭转微镜的制作工艺、运动特性以及应用等方面的研究,发现了吸合效应,并利用物理模型对其吸合

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本文编号：987574