基于MEMS机构装配的微夹持器研究

发布时间：2017-10-07 17:01

  本文关键词：基于MEMS机构装配的微夹持器研究

  更多相关文章： 微机电系统 微装配 微夹持器 压电陶瓷 柔性铰链 非线性回归

【摘要】：微夹持器作为末端执行装置,直接决定了微装配的效率。MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件,为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配,设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构。对该微夹持器的节点应力、刚度及最大张合量等进行了分析计算,并对微夹持器进行了试制。实验与分析结果表明,该夹持器最大张合量是245μm,放大倍数约为12.3倍,满足MEMS机构的装配要求。在此基础上,重点对张合量与夹持力进行了系统测试,通过对测试数据的非线性回归,推导出99.99%可靠度的驱动电压计算公式,实现了微夹持的精确控制。
【作者单位】： 沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室;中国空空导弹研究院;
【关键词】： 微机电系统 微装配 微夹持器 压电陶瓷 柔性铰链 非线性回归
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z167) 辽宁省自然科学基金资助项目(201102182)
【分类号】：TH-39;TG95
【正文快照】： 0引言在MEMS机构微装配系统中,微夹持器是实现亚毫米级微小构件稳定夹取及可靠释放等操作的关键部件,对实现自动化的微装配具有重要作用。目前已有学者进行了微夹持器结构与驱动方法的研究。如:利用两个压电单晶片悬臂梁组成的微夹持器[1];基于电磁力驱动的微夹持器[2];由SMA

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本文编号：989007