Pd-Cr薄膜应变计的研制

发布时间：2017-10-08 09:18

  本文关键词：Pd-Cr薄膜应变计的研制

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【摘要】：采用射频磁控溅射法在镍基高温合金拉伸件上制备Pd-Cr薄膜应变计。研究了800℃大气退火对Pd-Cr薄膜结构、表面形貌、方块电阻的影响,并且测试了Pd-Cr薄膜应变计的电学及应变性能。结果表明:Pd-Cr薄膜是一种结构为面心立方的单相材料。800℃大气退火后,Pd-Cr薄膜表面生成一层致密的Cr2O3,且薄膜方阻减小。在20~400℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数(TCR)约为230~260 ppm/℃。室温和300℃下的灵敏系数(GF)分别为1.97和2.63。
【作者单位】： 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【关键词】： 磁控溅射 Pd-Cr 薄膜应变计 灵敏系数 电阻温度系数
【分类号】：TH823.3
【正文快照】： 0引言薄膜应变计是采用真空沉积和溅射方法把敏感薄膜直接沉积到结构件表面制成的应变计,与传统的丝式和箔式应变计相比,薄膜应变计厚度在μm量级,响应速度快、测试准确度高、灵敏度高。选择合适的敏感材料制备的薄膜应变计,可以应用于航空发动机涡轮叶片在高温、高压、强烈震

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