基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制

发布时间：2017-10-08 19:17

  本文关键词：基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制

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【摘要】：在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台。该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨,由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动,通过双频激光干涉仪实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制,有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性和迟滞效应,并消除了系统由于刚度不足而产生的不确定性干扰。在传统纯柔性铰链传动机构上增设了双气浮导轨承载台,增强了系统的载荷能力,气浮均化效应也提高了系统进给运行的直线性,双频激光干涉仪取代电容式或电阻式位移传感器的应用,从理论上扩展了行程,保证了平台进给的定位精度和长期稳定性。实验结果表明,在载荷为100 kg情况下,定位精度达±2 nm,行程大于10μm。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;
【关键词】： 压电陶瓷 纳米定位 气浮导轨 激光干涉仪
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言纳米级微定位技术在当今尖端工业生产和科学研究领域占有极其重要的地位,高分辨率、高可靠性且纳米级高精度的微动平台,可单独工作或者配合其他设备和仪器完成系统级的高精度任务[1-2]。压电陶瓷具有体积小、分辨率高、频响快以及没有发热问题等优点,被广泛应用于各种精

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本文编号：995783