二维光栅制作与装配误差综合建模与实验研究

发布时间：2017-10-09 04:07

  本文关键词：二维光栅制作与装配误差综合建模与实验研究

  更多相关文章： 几何误差 二维光栅 位移测量 建模分析

【摘要】：针对二维位移测量系统中光栅制作与装配非理想所引起的几何误差,基于多普勒频移理论和坐标变换方法,建立了同时包含光栅非正交角与装配角在内的通用几何误差模型,定量研究了各误差角对系统性能的影响程度,仿真分析了X与Y方向余弦误差和耦合误差随误差参数的变化规律。结果表明,光栅制作和装配误差与系统所用衍射级次、衍射次数和光学细分倍数无关,只与各误差角和被测位移有关。与此同时,四个误差角都会导致余弦误差的产生,而耦合误差则主要受光栅非正交角和偏航角的影响。此外,相同误差角所引起的耦合误差要明显严重于余弦误差,是系统几何误差的主要构成成分。通过搭建基于二维交叉光栅的平面位移测量系统,利用10 mm方形运动轨迹实验验证了理论分析与数值仿真的正确性。
【作者单位】： 国防科学技术大学机电工程与自动化学院;空军航空大学飞行训练基地;
【关键词】： 几何误差 二维光栅 位移测量 建模分析
【基金】：国家自然科学基金(51275523)
【分类号】：TH741.1
【正文快照】： 0引言高精度平面位移测量作为超精密机床和高端光刻机等加工设备的核心技术,对传统制造业和信息产业的发展具有极其重要的作用。激光干涉仪和光栅编码器凭借其大量程高精度的特点,成为目前搭建平面位移测量系统应用最为广泛的技术。相比于激光干涉仪对周围环境的极度敏感,光栅

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 张冲;张东升;陶涛;梅雪松;;西门子840D/810D几何误差补偿研究[J];机械工程师;2011年01期

2 高秀峰;刘春时;李焱;林剑峰;;立式双摆角铣头几何误差数学建模与解耦研究[J];制造技术与机床;2011年12期

3 高秀峰;刘春时;李焱;林剑峰;;双轴转台几何误差数学建模与解耦研究[J];制造技术与机床;2012年01期

4 黄祥;;基于改进单纯形法的零件几何误差评定[J];井冈山大学学报(自然科学版);2013年03期

5 朱民生;滚刀几何误差分析与计算[J];机床;1985年05期

6 赵耀军;数控车床的几何误差[J];淮南矿业学院学报;1993年02期

7 袁慧坤;合成孔径旁视雷达图象几何误差的校正[J];光学学报;1984年08期

8 陈志祥;机床导轨几何误差激光测量方法的研究[J];华中工学院学报;1984年06期

9 赖喜德;大型叶片五轴联加工的几何误差控制(英文)[J];四川工业学院学报;2003年01期

10 赖喜德;大型叶片五轴联加工的几何误差控制(英文)[J];四川工业学院学报;2003年02期

中国重要会议论文全文数据库 前3条

1 粟时平;李圣怡;王贵林;;三轴机械几何误差辨识新方法的研究[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年

2 沈金华;杨建国;王正平;;基于LDDM的数控机床几何误差高效辨识[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年

3 江游;方向;张小华;丁传凡;;几何误差对四极杆质量分析器分辨率的影响[A];2007'仪表，，自动化及先进集成技术大会论文集（一）[C];2007年

中国博士学位论文全文数据库 前5条

1 邹华兵;微V槽超精密机床几何误差建模及补偿算法的研究[D];广东工业大学;2015年

2 郭崇颖;复杂产品几何误差评定与装配精度预测研究[D];北京理工大学;2015年

3 刘焕牢;数控机床几何误差测量及误差补偿技术的研究[D];华中科技大学;2005年

4 李小力;数控机床综合几何误差的建模及补偿研究[D];华中科技大学;2006年

5 范开国;数控机床多误差元素综合补偿及应用[D];上海交通大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 张玉;新GPS下几何误差评定优化算法的研究[D];河北联合大学;2014年

2 Azamat Arynov;卧式三轴数控机床的几何误差建模与补偿[D];上海交通大学;2015年

3 黄克;基于检验试件的五轴机床几何误差分析与精度预测研究[D];电子科技大学;2015年

4 吴石磊;重型立式车铣复合加工中心几何误差检测方法研究[D];哈尔滨工业大学;2015年

5 王一飞;重型机床装配的多柔体模型及其误差算法[D];哈尔滨理工大学;2015年

6 徐健;基于特征样件机床几何误差分离的在机测量技术研究[D];哈尔滨理工大学;2016年

7 梁成成;基于嵌入式的几何误差评定系统的开发[D];郑州大学;2014年

8 马吉阳;多轴数控机床几何误差的敏感性分析与全微分运动学求解[D];华中科技大学;2012年

9 刘建军;多轴数控机床几何误差辨识与补偿技术研究[D];西南交通大学;2012年

10 汪琛琛;基于扫频激光干涉的数控机床几何误差测量系统[D];浙江大学;2011年

本文编号：998045