高温压力传感器的研究现状与发展趋势

发布时间：2018-01-11 19:32

  本文关键词：高温压力传感器的研究现状与发展趋势　出处：《遥测遥控》2016年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：高温压力传感器广泛应用于火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备燃烧室内的压力监测。经过二十多年的研究,高温压力传感技术领域成果丰富。以敏感芯片的主体材料分类,对高温压力传感器的研究现状进行论述,重点分析基于SOI、SiC、蓝宝石、共烧陶瓷、压电晶体、SiCN陶瓷等材料的高温压力传感器的特点与局限以及国内外发展现状。最后展望高温压力传感器的发展趋势,并对国内高温压力传感器的发展方向提出建议。
[Abstract]:High temperature pressure sensor is widely used in rocket engines, aircraft engines, gas turbine, pressure monitoring of combustion gas boiler coal-fired power equipment. After more than 20 years of research, the technology field of high temperature pressure sensor. The main material with rich classification sensitive chip, discussed the current situation of high temperature pressure sensor, based on the analysis of the key SOI, SiC, sapphire, cofired ceramics, piezoelectric crystal, SiCN ceramic materials such as high temperature pressure sensor characteristics and limitations as well as the domestic and foreign development status. Finally the prospect of development trend of high temperature pressure sensor, and the development direction of the domestic high temperature pressure sensor is proposed.

【作者单位】： 航天长征火箭技术有限公司;中国航天时代电子公司;中国空间技术研究院;厦门大学;
【基金】：总装预研课题(51323040122)
【分类号】：TP212
【正文快照】： 引言火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备的主要部件处在高温恶劣环境,燃烧室温度甚至超过2000℃。利用高温传感器可对喷嘴燃烧室、压气机、叶片等关键部位的压力、温度等参量进行实时监测,提高燃烧性能和推进效率,并对部件健康状态进行评估[1~4]。

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本文编号：1410927