高可靠性压力传感器的设计与研究

发布时间：2018-07-01 11:29

  本文选题：高可靠性 + 压力传感器　； 参考：《仪表技术与传感器》2017年10期

【摘要】：基于MEMS技术的压阻式压力传感器在工业领域应用广泛,传感器的可靠性设计是传感器技术的研究热点,针对汽车电子、石油化工等领域对高可靠性压力传感器的需求,提出了高可靠性压力传感器的设计方法。最后,通过可靠性强化试验对设计的传感器进行可靠性评价,试验结果表明该传感器具有极高的可靠性。
[Abstract]:The piezoresistive pressure sensor based on MEMS technology is widely used in the industrial field. The reliability design of the sensor is a hot spot in the research of sensor technology. The design method of high reliability pressure sensor is put forward in view of the demand of high reliability pressure sensors in automotive electronics and petrochemical industry. Finally, the reliability enhancement test is carried out. The reliability of the designed sensor is evaluated. The test results show that the sensor has high reliability.
【作者单位】： 北京强度环境研究所;
【分类号】：TP212

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